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公开(公告)号：CN109656016B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201910132036.8
申请日：2019-02-22
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明涉及一种管状变形镜及使用方法，属于光学器件技术领域，所述管状变形镜包括基底层和压电层，且基底层和压电层均呈管状，所述基底层的内表面镀有光学反射膜，且其外表面与压电层的内表面光学粘接，所述压电层的内表面整体镀有第一电极形成变形镜的地电极，且其外表面镀有多个第二电极形成变形镜的驱动器，本发明将基底层和压电层设置呈管状，适用于对环形光束进行波前校正，结构新颖，同时，借助入射环形劈板、出射环形劈板增大环形光束入射至管状变形镜内表面的入射角，增大环形光束与管状变形镜的作用区域，有利于管状变形镜在作用区域设置更多的驱动器，增强变形镜的校正能力，实现更好的波前校正效果。
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公开(公告)号：CN115585987A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211183625.7
申请日：2022-09-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
摘要： 本发明涉及一种透射元件偏振性能检测系统及检测方法，属于光学计量与测量技术领域，检测系统包括同光轴设置的激光光源、偏振起偏器以及光电探测器，所述偏振起偏器与所述光电探测器之间设置有用于夹持透射元件的夹持框架，所述夹持框架位于二维平移台上，本发明通过二维平移台带动夹持框架实现二维移动，利用单点偏振特性测量实现透射元件全口径偏振特性测量，无需进行光束扩束，检测结果更加精准，同时，适用于各种口径各种外形的透射元件的偏振性能检测，尤其适用于大口径透射元件的偏振性能检测。
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公开(公告)号：CN109656016A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201910132036.8
申请日：2019-02-22
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 清华大学
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明涉及一种管状变形镜及使用方法，属于光学器件技术领域，所述管状变形镜包括基底层和压电层，且基底层和压电层均呈管状，所述基底层的内表面镀有光学反射膜，且其外表面与压电层的内表面光学粘接，所述压电层的内表面整体镀有第一电极形成变形镜的地电极，且其外表面镀有多个第二电极形成变形镜的驱动器，本发明将基底层和压电层设置呈管状，适用于对环形光束进行波前校正，结构新颖，同时，借助入射环形劈板、出射环形劈板增大环形光束入射至管状变形镜内表面的入射角，增大环形光束与管状变形镜的作用区域，有利于管状变形镜在作用区域设置更多的驱动器，增强变形镜的校正能力，实现更好的波前校正效果。
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公开(公告)号：CN118011531A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410167082.2
申请日：2024-02-06
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件表面溶胶凝胶增透膜无损去除方法，包括：利用低压空气等离子体清洗与刻蚀装置对污染后的小口径光学元件样品和硅片样品进行不同时间的清洗，测试其表面溶胶凝胶增透膜的厚度，得到低压空气等离子体的刻蚀速率，采用相同的工艺参数对大口径光学元件进行清洗，得到无损洁净的大口径光学元件基底。本发明不受限于光学元件基底材料、光学元件尺寸和镀膜工艺，能够在高效、无损伤、高质量去除大口径光学元件表面溶胶凝胶增透膜的同时清洗了大口径光学元件表面有机污染物，能够实现一次性去除430mm×430mm面积的膜层，除膜后的光学元件表面几乎无损伤，光学性能基本恢复，光学元件表面无固态污染物的残留。
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公开(公告)号：CN117631310A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311265371.8
申请日：2023-09-27
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供了一种全庞加莱光束偏振匀滑装置及方法，全庞加莱光束偏振匀滑装置包括：透明窗口，透明窗口为长方体结构；透明窗口包括相对设置的两个光学表面和沿周向分布的四个非光学表面；加载组件，加载组件用于对透明窗口的非光学表面施加压力；压力传感器，位于加载元件和接触材料之间，压力传感器用于监测加载元件施加的压力；计算机，与压力传感器连接，用于接收压力传感器的信号；控制器，控制器用于接收计算机的信号，以根据计算机的信号，调节加载元件对压力传感器施加压力的大小。本发明解决了相关技术中调制装置中的晶体元件易损伤的技术问题。
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公开(公告)号：CN115826258A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211642284.5
申请日：2022-12-20
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种无焦激光镜组、精密装调装置及精密装调方法，无焦激光镜组包括元件，所述元件设置有至少两个；镜框，所述镜框用于对元件进行固定；以及连接杆，所述连接杆至少设置三根，每一根所述连接杆将多个镜框连接在一起；精密装调装置包括激光光源、半反半透镜、第一扩束/缩束镜组、反射镜、第二扩束/缩束镜组以及波前传感器；装调方法包括：S01、获取参考波像差；S02，无焦激光镜组光学元件调整与测试；S03、锁定光学元件位姿关系；S04、无焦激光镜组组装；S05、无焦激光镜组复测；既不会带来色差，也不存在波前差难以准确扣除的问题，并且能够实现良好的装调效果。
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公开(公告)号：CN106842556B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN201710212848.4
申请日：2017-04-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 本发明涉及一种变形镜及其加工方法，属于光学器件技术领域，所述变形镜包括镜框，所述镜框内依次设有基底层、均布驱动器的压电层和航插，还包括位于压电层和航插之间的电路板，所述电路板通过导线与航插连接，所述电路板上设有与驱动器对应设置的导电接头，所述导电接头具有微弹性，使其端部始终与驱动器相抵，所述电路板通过紧固件与镜框连接，通过调节紧固件嵌入镜框中的深度，调节导电接头施加在驱动器上的压力，本发明具有减小变形镜所受应力、有利于控制面形、降低加工难度、易于拆卸和维护、提高元件利用率的特点。
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公开(公告)号：CN110132993B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910529654.6
申请日：2019-06-19
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G01N21/896 , G01N21/89
摘要： 本发明公开了一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，属于光学膜技术领域，包括样品台、三维电动移动平台、成像采集单元和控制分析单元，所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块，所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜，所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块，所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机，所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机，本发明可以获得节瘤缺陷的三维信息包括纵向信息，可以判断较小尺寸的节瘤缺陷；特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件膜层缺陷的检测与成像。
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公开(公告)号：CN111596498B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202010626716.8
申请日：2020-07-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及一种基于液晶相控阵的环形光束产生方法，属于光束整形技术领域，包括以下步骤：确定目标环形光束的内径和外径；第一液晶相控阵对入射光束进行一次偏转，形成圆锥形发散光束；当圆锥形发散光束的直径与目标环形光束的外径相同时，第二液晶相控阵对圆锥形发散光束进行二次偏转，得到目标环形光束，本发明的光学系统简单，涉及使用的器件技术成熟，相较于传统的几何变换技术，具有调试难度低、面型精确可控等优势，同时，通过对第一液晶相控阵、第二液晶相控阵施加可编程控制的驱动电压，能够方便灵活、精密的动态控制偏转角度值，进而改变目标环形光束的发散角、内径及外径，以匹配不同类型卡式系统对环形光束的要求。
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公开(公告)号：CN113552725A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110817093.7
申请日：2021-07-20
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人： 杨英 , 王德恩 , 陈良明 , 张鑫 , 郑胜亨 , 廖予祯 , 郭雨源 , 韩伟 , 田野 , 邓学伟 , 王芳 , 许党朋 , 杨敏 , 杨开栋 , 刘昊 , 李明中 , 袁强 , 袁晓东 , 胡东霞
摘要： 本发明涉及一种激光束同轴同波面控制系统及方法，属于光学工程技术领域，包括多路输入子束激光、取样镜、光束分离单元和处理机，输入子束激光通过准直传输单元传输至第一合束元件形成合束激光，合束激光经取样镜分为测量激光和主激光，光束分离单元将测量激光分成多路测量子束激光，保证多路测量子束激光的波前像差能够被分别采集，处理机对波前像差进行计算，得到指向信息和离焦信息，实现对输入子束激光的指向控制和焦面控制，本发明借助光束分离单元，实现一台波前传感器或图像传感器分别采集多路激光波前信息或光斑信息，通过处理机计算得出指向信息和离焦信息，并驱动器件进行调节，实现闭环控制，消除光路的指向误差和焦面误差。
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