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公开(公告)号：CN116102238B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202211496906.8
申请日：2022-11-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种熔石英微纳光学器件加工方法，在3D打印固化后的基底模型上通过飞秒激光加工实验平台加工微纳结构，能够减少基底结构的加工时间，在保证微纳结构加工精度的同时，能大幅缩短加工时间，并能得到远高于单独使用3D打印获取的微纳结构的加工精度；由此可见，本发明结合了3D打印自由成型和飞秒激光加工精度的优势，能实现熔石英元件更加广阔的应用范围。
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公开(公告)号：CN116372360B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202310144768.5
申请日：2023-02-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23K26/064 , G02B27/09 , G02B26/08 , G02B26/10 , B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/082 , B23K26/073 , B23K26/382
Abstract: 本发明提供一种微孔旋切扫描加工光学系统，通过偏振调节部件、光束整形部件、快反镜和旋切加工镜头实现精密微孔加工和异型孔的加工，孔径范围数十到几百微米尺寸；其中，本发明通过扩束镜与光阑作为光束整形部件来代替道威棱镜的功能，实现圆对称光束；通过快反镜实现任意光束轨迹扫描，通过旋切加工镜头产生先汇聚再离轴聚焦的光束走向；本发明的整个系统无高速旋转部件，避免了轴跳可能导致加工的偏差，单个快反镜控制实现容易，能实现陡直孔、锥形孔和异型孔等孔型的加工；同时，整个系统总长短，镜组为长条结构，紧凑、稳定，在相同焦距参数下能够实现更小孔径的加工。
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公开(公告)号：CN116282865A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211489561.3
申请日：2022-11-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C03B25/02
Abstract: 本发明提供一种光学元件高能辐射缺陷在线去除系统及方法，其中，在线去除系统包括控制观察模块与二氧化碳激光加热装置，二氧化碳激光加热装置包括激光加热组件、指示激光器以及红外热像仪；本发明通过激光远距离对熔石英光学元件进行逐行扫描加热，利用激光加热的高温去除光学元件表面和内部的高能辐射缺陷，也就是说，本发明只需要对光学元件短暂的在线热处理即可去除电子态缺陷，恢复光学元件的性能，不需要拆卸和安装、装调光学组件，是一种非接触式的能量束加热方式，不会对光学元件表面产生污染，能提高安装有熔石英光学元件的激光聚变装置和磁约束装置的有效利用率。
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公开(公告)号：CN105699297A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610245981.5
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种单发次材料光克尔系数测量装置。所述装置中的飞秒激光器出射的飞秒脉冲通过分光片后将光脉冲分为透射光和反射光，反射光经过光学延时线、半波片、第一离轴抛物面反射镜、反射镜，聚焦到非线性样品中；透射光经过第一凸透镜、超连续谱展宽片，进行超连续谱展宽，超连续谱脉冲经过第二离轴抛物面反射镜、脉冲展宽器、反射镜、第三离轴抛物面反射镜，聚焦进入非线性样品，作为探测脉冲；泵浦脉冲与探测脉冲在非线性样品内部重合，泵浦光激发非线性样品，通过第二凸透镜聚焦进入光谱仪。
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公开(公告)号：CN116372360A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310144768.5
申请日：2023-02-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23K26/064 , G02B27/09 , G02B26/08 , G02B26/10 , B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/082 , B23K26/073 , B23K26/382
Abstract: 本发明提供一种微孔旋切扫描加工光学系统，通过偏振调节部件、光束整形部件、快反镜和旋切加工镜头实现精密微孔加工和异型孔的加工，孔径范围数十到几百微米尺寸；其中，本发明通过扩束镜与光阑作为光束整形部件来代替道威棱镜的功能，实现圆对称光束；通过快反镜实现任意光束轨迹扫描，通过旋切加工镜头产生先汇聚再离轴聚焦的光束走向；本发明的整个系统无高速旋转部件，避免了轴跳可能导致加工的偏差，单个快反镜控制实现容易，能实现陡直孔、锥形孔和异型孔等孔型的加工；同时，整个系统总长短，镜组为长条结构，紧凑、稳定，在相同焦距参数下能够实现更小孔径的加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109916902A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910186287.4
申请日：2019-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明实施例提供的成像设备和成像方法，涉及激光成像技术领域。该成像设备用于对待测试物品进行成像处理，该成像设备包括：飞秒激光器件，用于发出飞秒脉冲；脉冲时域展宽器件，用于将所述飞秒脉冲进行时域展宽处理，以生成啁啾脉冲，并将所述啁啾脉冲发送至所述待测试物品，其中，所述啁啾脉冲的时域与频域一一对应；滤光器件，用于将经过待测试物品的啁啾脉冲进行滤光处理，以生成多个携带待测试物品信息的子脉冲，其中，各所述子脉冲在时间和空间上隔离；成像器件，用于根据各所述携带待测试物品信息的子脉冲生成多幅不同时域的图像。通过上述设置，可以简化成像设备的复杂度，降低成像设备的设计和调节难度。
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公开(公告)号：CN116102238A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211496906.8
申请日：2022-11-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种熔石英微纳光学器件加工方法，在3D打印固化后的基底模型上通过飞秒激光加工实验平台加工微纳结构，能够减少基底结构的加工时间，在保证微纳结构加工精度的同时，能大幅缩短加工时间，并能得到远高于单独使用3D打印获取的微纳结构的加工精度；由此可见，本发明结合了3D打印自由成型和飞秒激光加工精度的优势，能实现熔石英元件更加广阔的应用范围。
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公开(公告)号：CN110806412A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201911124049.7
申请日：2019-11-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请实施例提供一种基于光学元件的缺陷尺寸检测方法及系统，涉及光学测量技术领域，该方法包括：获取所述光学元件中缺陷图像占用的缺陷像元数；判断所述缺陷像元数是否等于或小于预设的分辨率像元数；当所述缺陷像元数等于或小于预设的分辨率像元数时，获取缺陷散射光光强；以预设的尺寸检测算法和所述缺陷散射光光强为依据进行计算，得到缺陷尺寸。可见，实施这种实施方式，能够测量出传统方法中无法检测到缺陷尺寸，提高缺陷检测效果。
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公开(公告)号：CN109799235A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910186312.9
申请日：2019-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明实施例提供的成像装置和成像方法，涉及激光成像技术领域。该成像装置用于对放置于该成像装置的样品进行成像，所述成像装置包括：脉冲激光器，用于发出激光脉冲；阵列分束器，用于将所述激光脉冲分成多个子脉冲，且各子脉冲在空间和时间上分离；聚焦器，用于将各所述子脉冲会聚到所述样品；成像镜，用于根据从所述样品中出射的携带样品信息的各所述子脉冲进行成像处理；探测器，用于接收所述成像镜进行成像处理得到的多幅不同时域的样品图像。通过上述设置，可以使成像装置适用于任意脉冲光源。
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公开(公告)号：CN105953929B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201610245961.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供了一种单发脉冲宽度和能量测量装置，所述的装置中的飞秒激光器出射的飞秒脉冲依次经过第一凸透镜、超连续谱展宽片、第一离轴抛物面反射镜、脉冲展宽器、反射镜、第二离轴抛物面反射镜、起偏器，进入光克尔样品，作为探测脉冲；待测脉冲依次经过光学延时线、半波片、第二凸透镜，进入光克尔样品中；探测脉冲透过检偏器的频谱成分进入光谱仪，完成信号采集。本发明具有高时间分辨率，高信噪比等特点。
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