双波长双共焦激光显微测量装置与测量方法

    公开(公告)号:CN113189102A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN202110476165.6

    申请日:2021-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种双波长双共焦激光显微测量装置与测量方法,涉及光学精密检测技术领域,目的在于同时提升激光共焦系统的轴向分辨能力和横向分辨能力。本发明采用的技术方案是:双波长双共焦激光显微测量装置,包括激光器、入射光路、反射光路和探测装置,第一激光器I和激光器Ⅱ分别发出不同波长的激光束,经分束镜、准直器、偏振分光镜、四分之一玻片、物镜会聚到样品,反射光经物镜、四分之一玻片后,被偏振分光镜反射,再被半反半透镜分成两路,再分别进入探测器I和探测器Ⅱ进行探测。本发明将探测器I和探测器II分别安装于与物镜焦点共轭的位置,将双探测器归一化轴向响应曲线相乘后的输出作为共焦系统的输出,适用于光学高分辨测量。

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