公开(公告)号：CN106645197B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN201611233039.3

申请日：2016-12-29

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 周国瑞 ,  苗心向 ,  吕海兵 ,  牛龙飞 ,  丁文东 ,  刘昊 ,  李可欣 ,  邹睿 ,  刘青安 ,  马志强 ,  周海 ,  袁晓东

IPC: G01N21/94

Abstract: 本发明公开了一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，包括：箱体，其顶部设置有可供激光进入的入光口；设置在箱体内部的光学元件；其中，所述光学元件的镜框边缘上方相对设置有2个线光源；所述箱体一侧设置有光学显微成像装置；所述成像装置通过与其通信连接的上位机进而实现对光学元件表面颗粒物的在线检测。本发明提供一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，其能够通过光学元件与线光源，上位机与光学显微成像装置的配合，实现对光机装置中光学元件表面颗粒污染物的在线监测，并高效、高精度地实时提供光学元件表(56)对比文件王世通.精密表面缺陷检测散射成像理论建模及系统分析研究.万方学位论文.2015,1-123.苗心向，等.激光装置污染物诱导光学元件表面损伤实验研究.中国激光.2015,第42卷(第06期),9-15.王科.光学元件表面疵病散射法检测技术研究.中国优秀硕士学位论文电子期刊工程科技Ⅱ辑.2016,(第04期),1-77.王玉增.颗粒显微图象二值化方法研究.济南大学学报.2003,(第2期),155-156.Darji R，等.Scattering corrections insmall particle imaging. Micron.1997,第28卷(第2期),95-100.程晓锋;徐旭;张林;贺群;袁晓东;蒋晓东;郑万国.基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测.强激光与粒子束.2009,(第11期),1677-1680.杨甬英;陆春华;梁蛟;刘东;杨李茗;李瑞洁.光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统.光学学报.2007,(第06期),1031-1038.

公开(公告)号：CN106645197A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201611233039.3

申请日：2016-12-29

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 周国瑞 ,  苗心向 ,  吕海兵 ,  牛龙飞 ,  丁文东 ,  刘昊 ,  李可欣 ,  邹睿 ,  刘青安 ,  马志强 ,  周海 ,  袁晓东

IPC: G01N21/94

CPC classification number: G01N21/94

Abstract: 本发明公开了一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，包括：箱体，其顶部设置有可供激光进入的入光口；设置在箱体内部的光学元件；其中，所述光学元件的镜框边缘上方相对设置有2个线光源；所述箱体一侧设置有光学显微成像装置；所述成像装置通过与其通信连接的上位机进而实现对光学元件表面颗粒物的在线检测。本发明提供一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，其能够通过光学元件与线光源，上位机与光学显微成像装置的配合，实现对光机装置中光学元件表面颗粒污染物的在线监测，并高效、高精度地实时提供光学元件表面洁净状态信息。本发明提供一种应用检测系统的方法。

公开(公告)号：CN206398656U

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201621462528.1

申请日：2016-12-29

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 周国瑞 ,  刘青安 ,  马志强 ,  苗心向 ,  吕海兵 ,  牛龙飞 ,  丁文东 ,  刘昊 ,  李可欣 ,  邹睿 ,  周海 ,  袁晓东

IPC: F21V21/10

Abstract: 本实用新型公开了一种光源设备夹持器，包括：一与光学元件相配合的夹持单元；一设置于夹持单元一端、且与光源设备相配合的支撑单元；其中，与光源设备可拆卸连接设置有一连接机构，支撑单元的自由端设置有一角度旋转组件，其与连接机构相配合，以使光源设备的出射光可沿光学元件表面发生预定的角度偏转。采用本实用新型光源设备夹持器，使得光源可以在高度和角度等多个方向上的调整，实现了对所需光源的入射位置和入射角度的自由调节，提高了检测效率以及准确率。

公开(公告)号：CN206362529U

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201621454439.2

申请日：2016-12-29

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 周国瑞 ,  苗心向 ,  吕海兵 ,  牛龙飞 ,  丁文东 ,  刘昊 ,  李可欣 ,  邹睿 ,  刘青安 ,  马志强 ,  周海 ,  袁晓东

IPC: G01M11/00

Abstract: 本实用新型公开了一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，包括：箱体，其顶部设置有可供激光进入的入光口；设置在箱体内部的光学元件；其中，所述光学元件的镜框边缘上方相对设置有2个线光源；所述箱体一侧设置有光学显微成像装置；所述成像装置通过与其通信连接的上位机进而实现对光学元件表面颗粒物的在线检测。本实用新型提供一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，其能够通过光学元件与线光源，上位机与光学显微成像装置的配合，实现对光机装置中光学元件表面颗粒污染物的在线监测，并高效、高精度地实时提供光学元件表面洁净状态信息。