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公开(公告)号：CN113232177A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110566756.2
申请日：2021-05-24
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： B28D5/00 , G06F30/23 , G06F119/14
摘要： 本发明公开了一种飞切机床纳米调姿补偿装置及低频形状误差抑制方法，涉及超精密加工技术领域，其技术方案要点是：卧式飞切机床布置三自由度纳米调姿补偿装置，并将加工工件与三自由度纳米调姿补偿装置固定；根据气浮主轴的静动态参数建立断续切削力作用下气浮主轴轴线倾角摆动轨迹的精准预测模型；将精准预测模型预测的轴线倾角摆动轨迹进行补偿反姿态所需的各位移驱动支撑点的伸缩量转化为位移控制指令，并将位移控制指令输入到三自由度纳米调姿补偿装置，以保持加工工件的中心线与气浮主轴的轴线相互平行进行轴线摆动误差补偿。本发明有效解决现有加工机床加工表面存在的低频“类马鞍”形状误差问题，实现低频“类马鞍”形状误差的有效消除。
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公开(公告)号：CN112077616B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202010947524.7
申请日：2020-09-10
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本发明公开的油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，包括：底座、止推板组件、溜板、压力盖板、温度传感装置和位移传感装置；底座、止推板组件和溜板构成主油膜腔；温度传感装置采集主油膜腔的温度数据；压力盖板与止推板组件构成辅助油膜腔，位移传感装置采集辅助油膜腔处止推板组件的位移数据进而得到主油膜的厚度数据；基于主油膜的温度和厚度的实时数据，调节辅助油膜腔的压力和流量，而不改变主油膜腔的压力和流量，这样即可在实现控制主油膜厚度的同时保证静压导轨的承载能力和刚度。通过控制辅助油膜来间接控制主油膜，既实现了主油膜的控制，又避免了导轨的刚度和负载能力的变化。
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公开(公告)号：CN112814967A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110186907.1
申请日：2021-02-09
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本发明公开了一种可调气膜间隙的无摩擦气缸，涉及直线驱动机构领域，它包括气缸筒和气缸筒两端的第一端盖和第二端盖；所述气缸筒内具有工作腔，所述工作腔内设置有包括活塞组件，所述第一端盖加工有与所述工作腔连通的第一气孔，所述第二端盖包括多块相互拼接的端盖块，相邻所述端盖块之间设置有第二距离调节组件；至少一块所述端盖块靠近所述通隙的一侧加工有第二气膜面，通过对所述第二气膜面内进行通气，可对穿过所述通隙的所述活塞和/或所述活塞杆部分形成气膜支撑。本发明可通过对于活塞组件部分接触的端盖进行相对容易生产的分体式设计，组成该端盖的每个单体部分之间间隙可微调，从而实现支撑气膜便捷调整的目的。
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公开(公告)号：CN113489381A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110808024.X
申请日：2021-07-16
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： H02N15/00
摘要： 本发明公开了一种基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法，包括基座、大行程超精密垂直轴组件、大行程普通精度运动轴组件和运动控制器，大行程超精密垂直轴组件与大行程普通精度运动轴组件的行程均大于20mm；二者可在重力方向上同步运动，大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件间可产生与重力作用方向相反的悬浮力用于重力的补偿；大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件均与所述运动控制器进行电连接。采用悬浮力来对竖直方向移动时的重力进行补偿，通过磁场产生悬浮力来进行重力补偿的方法，其响应速度更快且更加稳定，对大行程超精密垂直轴重力补偿的效果更好，进而降低重力对大行程超精密垂直轴运动的影响。
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公开(公告)号：CN112077616A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010947524.7
申请日：2020-09-10
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本发明公开的油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，包括：底座、止推板组件、溜板、压力盖板、温度传感装置和位移传感装置；底座、止推板组件和溜板构成主油膜腔；温度传感装置采集主油膜腔的温度数据；压力盖板与止推板组件构成辅助油膜腔，位移传感装置采集辅助油膜腔处止推板组件的位移数据进而得到主油膜的厚度数据；基于主油膜的温度和厚度的实时数据，调节辅助油膜腔的压力和流量，而不改变主油膜腔的压力和流量，这样即可在实现控制主油膜厚度的同时保证静压导轨的承载能力和刚度。通过控制辅助油膜来间接控制主油膜，既实现了主油膜的控制，又避免了导轨的刚度和负载能力的变化。
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公开(公告)号：CN113489381B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110808024.X
申请日：2021-07-16
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： H02N15/00
摘要： 本发明公开了一种基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法，包括基座、大行程超精密垂直轴组件、大行程普通精度运动轴组件和运动控制器，大行程超精密垂直轴组件与大行程普通精度运动轴组件的行程均大于20mm；二者可在重力方向上同步运动，大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件间可产生与重力作用方向相反的悬浮力用于重力的补偿；大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件均与所述运动控制器进行电连接。采用悬浮力来对竖直方向移动时的重力进行补偿，通过磁场产生悬浮力来进行重力补偿的方法，其响应速度更快且更加稳定，对大行程超精密垂直轴重力补偿的效果更好，进而降低重力对大行程超精密垂直轴运动的影响。
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公开(公告)号：CN114472989A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210125764.8
申请日：2022-02-10
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/12 , G06F30/17 , G06F30/20
摘要： 本发明公开了表面微结构加工的几何误差补偿方法及加工方法、装置，几何误差补偿方法，包括以下步骤：S1、获取机床的几何误差；S2、提取i时刻的设计加工指令，获得i时刻的刀具设计位置，根据机床运动误差模型获得刀具运动误差；S3、基于刀具设计位置和刀具运动误差获得i时刻刀具实际位置；S4、基于刀具实际位置、刀具运动误差，以及主轴旋转角度和主轴转速，构建进给速度修正模型，基于进给速度修正模型修正进给速度、行距和切削深度，获得修正后的进给速度、行距、切削深度；S5、重复步骤S2‑S4，直到表面微结构加工完成。将本发明所述几何误差补偿方法用机床加工表面微结构，能够解决现有加工方法导致表面微结构的加工精度较差的问题。
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公开(公告)号：CN214982274U
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202121117187.5
申请日：2021-05-24
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： B28D5/00 , G06F30/23 , G06F119/14
摘要： 本实用新型公开了一种飞切机床纳米调姿补偿装置及卧式超精密飞切机床，涉及超精密加工技术领域，其技术方案要点是：包括底座和支撑部，支撑部设有供加工工件固定的安装平台，所述支撑部设有三个沿安装平台四周呈三角分布的柔性铰链，每个柔性铰链与底座之间对应设有位移驱动件以及位移检测件。本实用新型通过控制吸附在三自由度纳米调姿装置上的KDP晶体的姿态，使KDP晶体的工件中心线与加工过程的主轴轴线始终相互平行，实现对飞切加工表面低频“类马鞍”形状误差的有效抑制，保证飞切加工的KDP晶体在高功率激光装置中的精度使用要求。
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公开(公告)号：CN214404186U
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202120373620.5
申请日：2021-02-09
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本实用新型公开了一种可调气膜间隙的无摩擦气缸，涉及直线驱动机构领域，它包括气缸筒和气缸筒两端的第一端盖和第二端盖；所述气缸筒内具有工作腔，所述工作腔内设置有包括活塞组件，所述第一端盖加工有与所述工作腔连通的第一气孔，所述第二端盖包括多块相互拼接的端盖块，相邻所述端盖块之间设置有第二距离调节组件；至少一块所述端盖块靠近所述通隙的一侧加工有第二气膜面，通过对所述第二气膜面内进行通气，可对穿过所述通隙的所述活塞和/或所述活塞杆部分形成气膜支撑。本实用新型可通过对于活塞组件部分接触的端盖进行相对容易生产的分体式设计，组成该端盖的每个单体部分之间间隙可微调，从而实现支撑气膜便捷调整的目的。
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