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公开(公告)号：CN113489381B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110808024.X
申请日：2021-07-16
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： H02N15/00
摘要： 本发明公开了一种基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法，包括基座、大行程超精密垂直轴组件、大行程普通精度运动轴组件和运动控制器，大行程超精密垂直轴组件与大行程普通精度运动轴组件的行程均大于20mm；二者可在重力方向上同步运动，大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件间可产生与重力作用方向相反的悬浮力用于重力的补偿；大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件均与所述运动控制器进行电连接。采用悬浮力来对竖直方向移动时的重力进行补偿，通过磁场产生悬浮力来进行重力补偿的方法，其响应速度更快且更加稳定，对大行程超精密垂直轴重力补偿的效果更好，进而降低重力对大行程超精密垂直轴运动的影响。
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公开(公告)号：CN113489381A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110808024.X
申请日：2021-07-16
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC分类号： H02N15/00
摘要： 本发明公开了一种基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法，包括基座、大行程超精密垂直轴组件、大行程普通精度运动轴组件和运动控制器，大行程超精密垂直轴组件与大行程普通精度运动轴组件的行程均大于20mm；二者可在重力方向上同步运动，大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件间可产生与重力作用方向相反的悬浮力用于重力的补偿；大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件均与所述运动控制器进行电连接。采用悬浮力来对竖直方向移动时的重力进行补偿，通过磁场产生悬浮力来进行重力补偿的方法，其响应速度更快且更加稳定，对大行程超精密垂直轴重力补偿的效果更好，进而降低重力对大行程超精密垂直轴运动的影响。
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公开(公告)号：CN112077616A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010947524.7
申请日：2020-09-10
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本发明公开的油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，包括：底座、止推板组件、溜板、压力盖板、温度传感装置和位移传感装置；底座、止推板组件和溜板构成主油膜腔；温度传感装置采集主油膜腔的温度数据；压力盖板与止推板组件构成辅助油膜腔，位移传感装置采集辅助油膜腔处止推板组件的位移数据进而得到主油膜的厚度数据；基于主油膜的温度和厚度的实时数据，调节辅助油膜腔的压力和流量，而不改变主油膜腔的压力和流量，这样即可在实现控制主油膜厚度的同时保证静压导轨的承载能力和刚度。通过控制辅助油膜来间接控制主油膜，既实现了主油膜的控制，又避免了导轨的刚度和负载能力的变化。
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公开(公告)号：CN112077616B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202010947524.7
申请日：2020-09-10
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本发明公开的油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，包括：底座、止推板组件、溜板、压力盖板、温度传感装置和位移传感装置；底座、止推板组件和溜板构成主油膜腔；温度传感装置采集主油膜腔的温度数据；压力盖板与止推板组件构成辅助油膜腔，位移传感装置采集辅助油膜腔处止推板组件的位移数据进而得到主油膜的厚度数据；基于主油膜的温度和厚度的实时数据，调节辅助油膜腔的压力和流量，而不改变主油膜腔的压力和流量，这样即可在实现控制主油膜厚度的同时保证静压导轨的承载能力和刚度。通过控制辅助油膜来间接控制主油膜，既实现了主油膜的控制，又避免了导轨的刚度和负载能力的变化。
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公开(公告)号：CN112814967A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110186907.1
申请日：2021-02-09
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本发明公开了一种可调气膜间隙的无摩擦气缸，涉及直线驱动机构领域，它包括气缸筒和气缸筒两端的第一端盖和第二端盖；所述气缸筒内具有工作腔，所述工作腔内设置有包括活塞组件，所述第一端盖加工有与所述工作腔连通的第一气孔，所述第二端盖包括多块相互拼接的端盖块，相邻所述端盖块之间设置有第二距离调节组件；至少一块所述端盖块靠近所述通隙的一侧加工有第二气膜面，通过对所述第二气膜面内进行通气，可对穿过所述通隙的所述活塞和/或所述活塞杆部分形成气膜支撑。本发明可通过对于活塞组件部分接触的端盖进行相对容易生产的分体式设计，组成该端盖的每个单体部分之间间隙可微调，从而实现支撑气膜便捷调整的目的。
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公开(公告)号：CN214404186U
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202120373620.5
申请日：2021-02-09
申请人： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要： 本实用新型公开了一种可调气膜间隙的无摩擦气缸，涉及直线驱动机构领域，它包括气缸筒和气缸筒两端的第一端盖和第二端盖；所述气缸筒内具有工作腔，所述工作腔内设置有包括活塞组件，所述第一端盖加工有与所述工作腔连通的第一气孔，所述第二端盖包括多块相互拼接的端盖块，相邻所述端盖块之间设置有第二距离调节组件；至少一块所述端盖块靠近所述通隙的一侧加工有第二气膜面，通过对所述第二气膜面内进行通气，可对穿过所述通隙的所述活塞和/或所述活塞杆部分形成气膜支撑。本实用新型可通过对于活塞组件部分接触的端盖进行相对容易生产的分体式设计，组成该端盖的每个单体部分之间间隙可微调，从而实现支撑气膜便捷调整的目的。
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