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公开(公告)号：CN104532189A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410766300.0
申请日：2014-12-12
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
CPC classification number: C23C14/16 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C28/021
Abstract: 本发明涉及一种用于轴瓦上的细Sn相AlSn20Cu涂层及其制备方法，与现有技术相比，AlSn20Cu层与AlSn20Cu+Al混合层交替分布，有效地抑制了AlSn20Cu涂层中Sn相组织的长大，且涂层成分的多元化、结构的多层化有效改善了涂层的应力分布，所得涂层中Sn相分布更加细密均匀、显微硬度偏大，提高了Sn相在涂层中的结合强度，大幅度增强了抗疲劳性能；突破了目前轴瓦减摩涂层制备时温度不能高于170℃、涂覆时轴瓦夹具需要水冷的限制，扩大了涂覆工艺参数的调整范围，简化了涂覆设备结构；本发明涂层的制备方法所用靶材廉价易得，工艺稳定、运行成本低，对获得更高品质轴瓦减摩涂层具有较好的适用性。
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公开(公告)号：CN107513684B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201710582452.9
申请日：2017-07-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明公开了一种自润滑复合涂层、涂层制备方法以及具有该涂层的制品。本发明的自润滑复合涂层包括若干个AlSn20Cu层和若干个MoS2层，AlSn20Cu层与MoS2层交替设置。本发明提供的自润滑复合涂层在原有的AlSn20Cu涂层中引入MoS2润滑层，使得涂层成分多元化、结构多元化，能够有效降低涂层的应力，提高膜基结合力，此外，MoS2相的引入可以在不改变AlSn20Cu涂层原有润滑性能的同时极大地改善其在乏油及干摩擦环境中的涂层的摩擦学性能。
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公开(公告)号：CN107513684A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710582452.9
申请日：2017-07-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明公开了一种自润滑复合涂层、涂层制备方法以及具有该涂层的制品。本发明的自润滑复合涂层包括若干个AlSn20Cu层和若干个MoS2层，AlSn20Cu层与MoS2层交替设置。本发明提供的自润滑复合涂层在原有的AlSn20Cu涂层中引入MoS2润滑层，使得涂层成分多元化、结构多元化，能够有效降低涂层的应力，提高膜基结合力，此外，MoS2相的引入可以在不改变AlSn20Cu涂层原有润滑性能的同时极大地改善其在乏油及干摩擦环境中的涂层的摩擦学性能。
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公开(公告)号：CN104532189B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201410766300.0
申请日：2014-12-12
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种用于轴瓦上的细Sn相AlSn20Cu涂层的制备方法，与现有技术相比，AlSn20Cu层与AlSn20Cu+Al混合层交替分布，有效地抑制了AlSn20Cu涂层中Sn相组织的长大，且涂层成分的多元化、结构的多层化有效改善了涂层的应力分布，所得涂层中Sn相分布更加细密均匀、显微硬度偏大，提高了Sn相在涂层中的结合强度，大幅度增强了抗疲劳性能；突破了目前轴瓦减摩涂层制备时温度不能高于170℃、涂覆时轴瓦夹具需要水冷的限制，扩大了涂覆工艺参数的调整范围，简化了涂覆设备结构；本发明涂层的制备方法所用靶材廉价易得，工艺稳定、运行成本低，对获得更高品质轴瓦减摩涂层具有较好的适用性。
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公开(公告)号：CN107699859B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201710879833.3
申请日：2017-09-26
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种轴瓦用全金属自润滑减摩涂层，其特征在于依次包括Ni栅层及磁控溅射的复合沉积层，该复合沉积层由AlSn20Cu层与Ag层交替沉积而成。进一步，每个AlSn20Cu层的厚度为2～3um，每个Ag层的厚度为0.5um～1um。本发明还公开了该涂层的制备方法。Ag/AlSn20Cu纳米多层交替结构设计，不仅使涂层组分多元化且有效的抑制了AlSn20Cu涂层中Sn相成分的长大提高薄膜膜基结合力。同时多层化设计有效缓解了涂层的应力、降低了摩擦系数和磨损率，增强抗疲劳性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103774089B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210550396.8
申请日：2012-12-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法，其特征在于组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝；步骤依次为：将金属或合金基底装入镀膜设备的腔体内后抽真空，加热并稳定，通入Ar；设置样品台旋转，并开启基底偏压，接着开启铬靶起辉电源并溅射；通入N2，按时间线性提高N2流量控制Ar/N2流量比；步骤4，开启钛铝靶起辉电源并迅速将钛铝靶电流密度提高；同时，将银靶电流密度也提高到；依次地，关闭钛铝靶，关闭银靶，关闭基底加热电源，关闭N2通入；最后取出镀膜样品；其硬度更高、断裂韧性更高、在400~600℃环境下摩擦系数和磨损率更低。
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公开(公告)号：CN103215542A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310129525.0
申请日：2013-04-15
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种纳米多层涂层，其特征在于该涂层至少包括沉积层，该沉积层由所包含的TiAlSiN亚层和CrAlN亚层交替沉积形成，并且，所述的TiAlSiN亚层中Si的原子含量为2～12%，所述的CrAlN亚层含有B1结构的纳米晶CrAlN显微组织。本发明还公开了该纳米多层涂层的制备方法。与现有技术相比，本发明得到纳米多层涂层具有高硬度、高韧性、高热稳定性和高抗氧化性的优点。
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公开(公告)号：CN103215542B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201310129525.0
申请日：2013-04-15
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种纳米多层涂层，其特征在于该涂层至少包括沉积层，该沉积层由所包含的TiAlSiN亚层和CrAlN亚层交替沉积形成，并且，所述的TiAlSiN亚层中Si的原子含量为2～12%，所述的CrAlN亚层含有B1结构的纳米晶CrAlN显微组织。本发明还公开了该纳米多层涂层的制备方法。与现有技术相比，本发明得到纳米多层涂层具有高硬度、高韧性、高热稳定性和高抗氧化性的优点。
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公开(公告)号：CN103774089A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201210550396.8
申请日：2012-12-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法，其特征在于组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝；步骤依次为：将金属或合金基底装入镀膜设备的腔体内后抽真空，加热并稳定，通入Ar；设置样品台旋转，并开启基底偏压，接着开启铬靶起辉电源并溅射；通入N2，按时间线性提高N2流量控制Ar/N2流量比；步骤4，开启钛铝靶起辉电源并迅速将钛铝靶电流密度提高；同时，将银靶电流密度也提高到；依次地，关闭钛铝靶，关闭银靶，关闭基底加热电源，关闭N2通入；最后取出镀膜样品；其硬度更高、断裂韧性更高、在400~600℃环境下摩擦系数和磨损率更低。
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公开(公告)号：CN107699859A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201710879833.3
申请日：2017-09-26
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种轴瓦用全金属自润滑减摩涂层，其特征在于依次包括Ni栅层及磁控溅射的复合沉积层，该复合沉积层由AlSn20Cu层与Ag层交替沉积而成。进一步，每个AlSn20Cu层的厚度为2～3um，每个Ag层的厚度为0.5um～1um。本发明还公开了该涂层的制备方法。Ag/AlSn20Cu纳米多层交替结构设计，不仅使涂层组分多元化且有效的抑制了AlSn20Cu涂层中Sn相成分的长大提高薄膜膜基结合力。同时多层化设计有效缓解了涂层的应力、降低了摩擦系数和磨损率，增强抗疲劳性能。
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