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公开(公告)号:CN112626577B
公开(公告)日:2023-05-19
申请号:CN202011392217.3
申请日:2020-12-01
Applicant: 中国兵器工业第五九研究所
Abstract: 本发明提供了一种石英晶体电极薄膜的制备方法,包括以下步骤:A)对晶振的真空镀膜进行净化和活化;B)采用镍的预镀电镀液对所述步骤A)中净化和活化后的真空镀膜进行预镀,得到预镀镍层;C)使用金属镀液在所述预镀镍层表面进行正反向电流电镀,得到晶振电镀厚度层;所述正向电镀与反向电镀的时间之比为(5~10):1,所述正向电镀与反向电镀的电流密度之比为(3~10):1,所述正向电镀的电流密度为1~5A/dm2。采用本发明方法可以充分净化和活化真空镀膜的表面,同时又不腐蚀基材,可以在晶振表面获得结合力良好,表面均匀的镀层,满足后续的测试要求。
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公开(公告)号:CN112626577A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN202011392217.3
申请日:2020-12-01
Applicant: 中国兵器工业第五九研究所
Abstract: 本发明提供了一种石英晶体电极薄膜的制备方法,包括以下步骤:A)对晶振的真空镀膜进行净化和活化;B)采用镍的预镀电镀液对所述步骤A)中净化和活化后的真空镀膜进行预镀,得到预镀镍层;C)使用金属镀液在所述预镀镍层表面进行正反向电流电镀,得到晶振电镀厚度层;所述正向电镀与反向电镀的时间之比为(5~10):1,所述正向电镀与反向电镀的电流密度之比为(3~10):1,所述正向电镀的电流密度为1~5A/dm2。采用本发明方法可以充分净化和活化真空镀膜的表面,同时又不腐蚀基材,可以在晶振表面获得结合力良好,表面均匀的镀层,满足后续的测试要求。
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