一种针对轰击NMOS晶体管无面积开销的单粒子瞬态加固方法

    公开(公告)号:CN106876383B

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201710001483.0

    申请日:2017-01-03

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明公开了一种针对轰击NMOS晶体管无面积开销的单粒子瞬态加固方法,目的是解决针对轰击NMOS晶体管的单粒子瞬态加固技术面积开销较大的问题。技术方案是断开衬底接触、PMOS晶体管与NMOS晶体管之间的金属连接;沿着栅极延伸方向移动NMOS晶体管有源区,使得NMOS晶体管有源区和N阱的间距达到半导体代工厂提供的设计规则规定的最小间距,将NMOS有源区移动的距离记为L;将栅极长度减小L,使得多晶硅超出NMOS有源区的长度与常规版图一致;恢复衬底接触、PMOS晶体管与NMOS晶体管之间的金属连接。采用本发明加固后的集成电路版图在粒子轰击NMOS晶体管时,可以加快NMOS晶体管中粒子沉积电荷的释放,减小单粒子瞬态脉宽;且本发明仅涉及晶体管版图位置的改变,没有面积开销。

    用旋转晶体管抑制单粒子瞬态的纳米CMOS版图加固方法

    公开(公告)号:CN106876384A

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201710001744.9

    申请日:2017-01-03

    IPC分类号: H01L27/02

    CPC分类号: H01L27/0207

    摘要: 本发明公开了一种用旋转晶体管抑制单粒子瞬态的纳米CMOS版图加固方法,目的是抑制单粒子瞬态。技术方案是先断开版图中的多晶和金属连接;将PMOS晶体管绕质心顺时针旋转90度,将NMOS晶体管绕质心逆时针旋转90度;将PMOS和NMOS晶体管相互靠近,将N阱接触向PMOS晶体管移动直至N掺杂与PMOS晶体管有源区接触,将衬底接触向NMOS晶体管移动直至P掺杂与NMOS晶体管有源区接触;将PMOS晶体管有源区向N阱接触有源区延伸直至两者接触,将NMOS晶体管有源区向衬底接触有源区延伸直至两者接触;将断开的连接恢复。采用本发明可以增强同一逻辑门内部PMOS和NMOS晶体管之间的电荷共享,削弱PMOS晶体管受到粒子轰击时所引发的寄生双极放大效应,具有很好的抗单粒子瞬态加固效果。

    用旋转晶体管抑制单粒子瞬态的纳米CMOS版图加固方法

    公开(公告)号:CN106876384B

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201710001744.9

    申请日:2017-01-03

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明公开了一种用旋转晶体管抑制单粒子瞬态的纳米CMOS版图加固方法,目的是抑制单粒子瞬态。技术方案是先断开版图中的多晶和金属连接;将PMOS晶体管绕质心顺时针旋转90度,将NMOS晶体管绕质心逆时针旋转90度;将PMOS和NMOS晶体管相互靠近,将N阱接触向PMOS晶体管移动直至N掺杂与PMOS晶体管有源区接触,将衬底接触向NMOS晶体管移动直至P掺杂与NMOS晶体管有源区接触;将PMOS晶体管有源区向N阱接触有源区延伸直至两者接触,将NMOS晶体管有源区向衬底接触有源区延伸直至两者接触;将断开的连接恢复。采用本发明可以增强同一逻辑门内部PMOS和NMOS晶体管之间的电荷共享,削弱PMOS晶体管受到粒子轰击时所引发的寄生双极放大效应,具有很好的抗单粒子瞬态加固效果。

    一种针对轰击NMOS晶体管无面积开销的单粒子瞬态加固方法

    公开(公告)号:CN106876383A

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201710001483.0

    申请日:2017-01-03

    IPC分类号: H01L27/02

    CPC分类号: H01L27/0207

    摘要: 本发明公开了一种针对轰击NMOS晶体管无面积开销的单粒子瞬态加固方法,目的是解决针对轰击NMOS晶体管的单粒子瞬态加固技术面积开销较大的问题。技术方案是断开衬底接触、PMOS晶体管与NMOS晶体管之间的金属连接;沿着栅极延伸方向移动NMOS晶体管有源区,使得NMOS晶体管有源区和N阱的间距达到半导体代工厂提供的设计规则规定的最小间距,将NMOS有源区移动的距离记为L;将栅极长度减小L,使得多晶硅超出NMOS有源区的长度与常规版图一致;恢复衬底接触、PMOS晶体管与NMOS晶体管之间的金属连接。采用本发明加固后的集成电路版图在粒子轰击NMOS晶体管时,可以加快NMOS晶体管中粒子沉积电荷的释放,减小单粒子瞬态脉宽;且本发明仅涉及晶体管版图位置的改变,没有面积开销。