公开(公告)号：CN108975266B

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201810784683.2

申请日：2018-07-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  白建新 ,  程丽霞 ,  张国军 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  A61B5/0408

Abstract: 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯‑PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯‑PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅射有金属层；石墨烯‑PDMS柔性导电衬底的底面上涂覆有导电银胶层。本发明的工艺步骤简单、成本较低、通过模具的制作有利于批量化生产。本发明制备用到的材料如导电银胶、PDMS、石墨烯、聚对二甲苯薄膜以及溅射的金属钛和金都在生物兼容性方面表现良好，能有效抑菌并减少对皮肤的刺激。本发明设计的针尖阵列结构有较大的接触面积，与皮肤直接接触可穿过角质层，能有效降低皮肤‑电极的接触阻抗，从而获得稳定的心电信号。

公开(公告)号：CN108975266A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810784683.2

申请日：2018-07-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  白建新 ,  程丽霞 ,  张国军 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  A61B5/0408

Abstract: 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯-PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯-PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅射有金属层；石墨烯-PDMS柔性导电衬底的底面上涂覆有导电银胶层。本发明的工艺步骤简单、成本较低、通过模具的制作有利于批量化生产。本发明制备用到的材料如导电银胶、PDMS、石墨烯、聚对二甲苯薄膜以及溅射的金属钛和金都在生物兼容性方面表现良好，能有效抑菌并减少对皮肤的刺激。本发明设计的针尖阵列结构有较大的接触面积，与皮肤直接接触可穿过角质层，能有效降低皮肤-电极的接触阻抗，从而获得稳定的心电信号。

公开(公告)号：CN109855721A

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201910105591.1

申请日：2019-02-01

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  张鹏飞 ,  白建新 ,  王卫东 ,  张文栋

IPC: G01H11/06 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的电容式声压水听器及其制备方法，水听器包括玻璃衬底、环状硅支柱和二氧化硅振动薄膜，二氧化硅振动薄膜、环状硅支柱以及玻璃衬底之间合围形成电容空腔，玻璃衬底的顶面设置有圆片状金属铝下电极，二氧化硅振动薄膜的顶面设置有圆片状金属铝上电极，二氧化硅振动薄膜上围绕圆片状金属铝上电极均布有四个与电容空腔相通的圆形注油孔，电容空腔通过圆形注油孔注满有硅油。本发明水听器尺寸小、灵敏度高、耐静水压能力强，并且工艺流程简洁明了，可以批量生产且成本低廉。本发明水听器可以实现频响范围在5Hz-2kHz，耐静水压达到20MPa以上以及灵敏度在-160dB以上的水下声压测量。