公开(公告)号：CN117987769A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202410169094.9

申请日：2024-02-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 董晓芬 ,  王端 ,  李思宇 ,  郭宇轩 ,  王蔚 ,  李乾

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/35 ,  C23C14/24 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明公开了一种爆炸箔制备方法，属于微型低能量点火和起爆技术领域，包括：S10，清理晶圆基片：去除晶圆基片表面杂质沾污；S20，沉积薄膜：首先，溅射金属钛钨薄膜，然后蒸发金属镍薄膜和金薄膜，且金属钛钨薄膜、金属镍薄膜和金薄膜从下向上顺次排布成型；S40，光刻爆炸箔；将桥箔图形转移到晶圆基片上，去除晶圆基片表面残留光刻胶；S50，清理杂质；将晶圆基片表面的未被光刻胶覆盖的金薄膜/镍薄膜/钛钨薄膜腐蚀，并清洗腐蚀后晶圆基片的表面杂质。本发明能够有效降低爆炸箔起爆能量，使其易于被激发产生电爆炸，提高推动飞片能力，可靠起爆非敏感炸药。

公开(公告)号：CN118013811A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410295256.3

申请日：2024-03-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 董晓芬 ,  李思宇 ,  王端 ,  郭宇轩 ,  王蔚 ,  李乾

IPC: G06F30/25 ,  G06F30/17 ,  G06F30/12 ,  G16C20/10 ,  G16C60/00 ,  G06F111/10 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明公开了一种爆炸箔换能元能量转换数值模拟方法，应用于微型低能量点火和起爆技术领域。包括以下步骤：确定爆炸箔换能元的参数；建立爆炸箔换能元能量转换模型；获取爆炸箔换能元能量转换模型参数；建立爆炸箔换能元能量转换过程数值模拟软件，本发明通过起爆电路输入能量，预测爆炸箔电爆炸曲线，并进一步预测飞片速度及飞片能否冲击起爆炸药，为研究爆炸箔换能元作用过程建立了仿真新途径。