公开(公告)号：CN103674357A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310715719.9

申请日：2013-12-23

申请人： 中北大学

发明人： 武文革 ,  成云平 ,  刘丽娟 ,  杜晓军 ,  李学瑞 ,  李琦 ,  冯霞

IPC分类号： G01L1/20 ,  B23Q17/09

摘要： 本发明涉及切削力测量技术，具体是一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器及其制备方法。本发明解决了现有测力仪体积大、测量精度和灵敏度低、结构复杂、制造成本高的问题。一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器，包括基片；基片的上表面形成有薄膜绝缘层；薄膜绝缘层的上表面形成有四个薄膜电阻栅和八个薄膜电极；其中两个薄膜电阻栅均纵向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；另外两个薄膜电阻栅均横向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；四个薄膜电阻栅的两端与八个薄膜电极一一对应连接。本发明适用于精密、超精密切削加工。

公开(公告)号：CN103674357B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201310715719.9

申请日：2013-12-23

申请人： 中北大学

发明人： 武文革 ,  成云平 ,  刘丽娟 ,  杜晓军 ,  李学瑞 ,  李琦 ,  冯霞

IPC分类号： G01L1/20 ,  B23Q17/09

摘要： 本发明涉及切削力测量技术，具体是一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器及其制备方法。本发明解决了现有测力仪体积大、测量精度和灵敏度低、结构复杂、制造成本高的问题。一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器，包括基片；基片的上表面形成有薄膜绝缘层；薄膜绝缘层的上表面形成有四个薄膜电阻栅和八个薄膜电极；其中两个薄膜电阻栅均纵向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；另外两个薄膜电阻栅均横向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；四个薄膜电阻栅的两端与八个薄膜电极一一对应连接。本发明适用于精密、超精密切削加工。

公开(公告)号：CN103707131A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310739624.0

申请日：2013-12-30

申请人： 中北大学

发明人： 成云平 ,  武文革 ,  刘丽娟 ,  杜晓军 ,  李琦 ,  李学瑞 ,  冯霞

IPC分类号： B23Q17/09

CPC分类号： B23Q17/0966

摘要： 本发明涉及切削力测量技术，具体是一种嵌入薄膜应变片传感器的切削力在线测量刀具系统。本发明解决了现有测力仪体积大、测量精度和灵敏度低、结构复杂、制造成本高的问题。一种嵌入薄膜应变片传感器的切削力在线测量刀具系统，包括信号采集部分和信号处理部分；所述信号采集部分包括刀杆、刀片、定位螺钉、压板、紧固螺栓、薄膜应变片传感器、接线端子、紧固螺钉、连接线；所述信号处理部分包括电压反馈运算放大器、仪表放大器、PC机；其中，刀片通过定位螺钉紧固安装于刀杆的前部左侧面；薄膜应变片传感器固定安装于刀杆的侧面中部。本发明适用于金属切削加工过程中切削力的测量。