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公开(公告)号：CN108426623B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201810640166.8
申请日：2018-06-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01F23/296
Abstract: 本发明提供了一种针对非浸入式超声液位测量系统的活塞式超声波探头，包括超声波换能器，超声波换能器位于探头外壳中，探头外壳的上底设有用于超声波换能器穿过的通孔，超声波换能器侧壁设有凸起阻挡部，探头外壳上底的通孔边缘设有滑块或滑轨，超声波换能器侧壁设有滑轨或滑块，超声波换能器通过滑轨和滑块的配合在探头外壳中上下滑动，超声波换能器侧壁设有耦合力度指针，探头外壳设有透明区，透明区标注有刻度线，探头外壳底部设有压簧，探头外壳的下底设有用于超声波换能器的导线穿过的导线孔。本发明利用耦合力度指针记录超声波换能器测量的初始位置，测量过程中保证耦合力度指针所指刻度不变，即可保证耦合力度相同。
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公开(公告)号：CN107621776A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710779296.5
申请日：2017-09-01
Applicant: 中北大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明涉及芯片级原子钟原子气室的制备方法，具体为基于“梳齿式”微流通道的SU-8原子气室制备方法。基于“梳齿式”微流通道的SU-8原子气室制备方法，包括气室键合层基底的制作、“梳齿式”微流通道半封闭原子气室的制作、化学反应物的填充、气室热键合和化学反应生成元素。本发明为了解决“玻璃-硅-玻璃”常规原子气室信噪比差、密封性不佳、制作工艺复杂等技术瓶颈问题，提出一种基于低温热键合工艺的SU-8聚合物制备同质原子气室的方法；同时，针对化学反应法制备铷单质时微流通道易堵塞的问题，提出“梳齿式”微流通道的设计思想。
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公开(公告)号：CN108873977A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810724126.1
申请日：2018-07-04
Applicant: 中北大学
IPC: G05D23/24
Abstract: 本发明提供了一种基于芯片原子钟的微型低功耗主动数字温控装置，包括温度控制模块，温度控制模块与温度采集模块和恒温模块连接，温度控制模块采用PIC单片机，温度采集模块包括一组热敏电阻，通过信号调理电路接入PIC单片机的模/数转换器ADC，恒温模块包括TEC和ITO加热膜，TEC和ITO加热膜通过驱动电路与PIC单片机的数/模转换器以及PWM连接，该装置体积小、功耗低，能够改善目前模拟电路结构复杂、精度低、可控性差、稳定性差的现状，解决FPGA电路体积大、功耗高、调整不方便的问题。本发明同时提供了一种主动温控方法，采用主动性温控，实现PID算法自动主动温控，响应快速、精度高。
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公开(公告)号：CN108426623A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810640166.8
申请日：2018-06-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01F23/296
Abstract: 本发明提供了一种针对非浸入式超声液位测量系统的活塞式超声波探头，包括超声波换能器，超声波换能器位于探头外壳中，探头外壳的上底设有用于超声波换能器穿过的通孔，超声波换能器侧壁设有凸起阻挡部，探头外壳上底的通孔边缘设有滑块或滑轨，超声波换能器侧壁设有滑轨或滑块，超声波换能器通过滑轨和滑块的配合在探头外壳中上下滑动，超声波换能器侧壁设有耦合力度指针，探头外壳设有透明区，透明区标注有刻度线，探头外壳底部设有压簧，探头外壳的下底设有用于超声波换能器的导线穿过的导线孔。本发明利用耦合力度指针记录超声波换能器测量的初始位置，测量过程中保证耦合力度指针所指刻度不变，即可保证耦合力度相同。
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公开(公告)号：CN108279320A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810133315.1
申请日：2018-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/02
Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺，具体属于光学领域和微光机电系统领域，具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法，本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料，基于高Q光学微环腔高灵敏的特点，以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点，采用集成纳米光波导工艺，提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计，通过力-光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109068414B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201810585049.6
申请日：2018-06-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种面向微型原子气室的厚膜混合集成加热装置及制备方法，采用厚膜技术将发热电阻一层层刷到基板上，并进行绝缘隔离，形成多层加热结构，并将三极管、热敏电阻和单片机等元器件都集成到基片上，每一层发热电阻都与一个三极管连接后由单片机的DAC输出端口控制，单片机通过其ADC模块采集热敏电阻的电压收集温度信号，经过PID算法后通过DAC控制每一层发热电阻的加热功率，实现多档连续控制的高集成度加热装置。本发明电路结构简单、集成度高、控制加热一体，能够改善目前微型原子气室加热装置的诸多问题，可以扩展应用到更多需要加热的器件中，并且工艺简单，易于制备。
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公开(公告)号：CN108279320B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201810133315.1
申请日：2018-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/02
Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺，具体属于光学领域和微光机电系统领域，具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法，本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料，基于高Q光学微环腔高灵敏的特点，以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点，采用集成纳米光波导工艺，提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计，通过力‑光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。
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公开(公告)号：CN108873977B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201810724126.1
申请日：2018-07-04
Applicant: 中北大学
IPC: G05D23/24
Abstract: 本发明提供了一种基于芯片原子钟的微型低功耗主动数字温控装置，包括温度控制模块，温度控制模块与温度采集模块和恒温模块连接，温度控制模块采用PIC单片机，温度采集模块包括一组热敏电阻，通过信号调理电路接入PIC单片机的模/数转换器ADC，恒温模块包括TEC和ITO加热膜，TEC和ITO加热膜通过驱动电路与PIC单片机的数/模转换器以及PWM连接，该装置体积小、功耗低，能够改善目前模拟电路结构复杂、精度低、可控性差、稳定性差的现状，解决FPGA电路体积大、功耗高、调整不方便的问题。本发明同时提供了一种主动温控方法，采用主动性温控，实现PID算法自动主动温控，响应快速、精度高。
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公开(公告)号：CN109068414A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810585049.6
申请日：2018-06-08
Applicant: 中北大学
CPC classification number: H05B3/20 , H05B1/02 , H05B3/10 , H05B2203/017
Abstract: 本发明提供了一种面向微型原子气室的厚膜混合集成加热装置及制备方法，采用厚膜技术将发热电阻一层层刷到基板上，并进行绝缘隔离，形成多层加热结构，并将三极管、热敏电阻和单片机等元器件都集成到基片上，每一层发热电阻都与一个三极管连接后由单片机的DAC输出端口控制，单片机通过其ADC模块采集热敏电阻的电压收集温度信号，经过PID算法后通过DAC控制每一层发热电阻的加热功率，实现多档连续控制的高集成度加热装置。本发明电路结构简单、集成度高、控制加热一体，能够改善目前微型原子气室加热装置的诸多问题，可以扩展应用到更多需要加热的器件中，并且工艺简单，易于制备。
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公开(公告)号：CN107621674A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710964074.0
申请日：2017-10-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于光学领域和微光机电系统领域，尤其涉及一种应用于加速度计的光波导设计及制造，具体为一种应用于加速度计的SU-8柔性光波导及其制备方法。一种应用于加速度计的SU-8柔性光波导，包括硅基底；硅基底上设有一层以聚合物NOA73为材料的下包层，下包层上设置有矩形SU-8芯层，下包层上还设置有将矩形SU-8芯层覆盖的以聚合物NOA73为材料的上包层，上包层上镀有Al掩膜。本发明所提出的柔性材料光波导加速度计，简化了制备工艺并降低成本，提高光学系统集成度，并且具有很好的抗震、抗干扰性能，适合于批量生产，可广泛的应用于军民领域。
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