公开(公告)号：CN102866262B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201210336902.3

申请日：2012-09-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 郭涛 ,  鲍爱达 ,  马喜宏 ,  杨卫 ,  李杰 ,  张晓明 ,  石云波 ,  徐香菊 ,  朱杰

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明涉及微加速度计，具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，解决了现有的加速度传感器体积大，现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，包括单晶硅材料的结构层（2）；所述结构层（2）分为左右两部分，所述结构层（2）右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元（21）和第二压阻式加速度计单元（22）；结构层（2）左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元（21、22）的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上，实现了微型化和集成化。

公开(公告)号：CN102866262A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210336902.3

申请日：2012-09-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 郭涛 ,  鲍爱达 ,  马喜宏 ,  杨卫 ,  李杰 ,  张晓明 ,  石云波 ,  徐香菊 ,  朱杰

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明涉及微加速度计，具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，解决了现有的加速度传感器体积大，现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，包括单晶硅材料的结构层（2）；所述结构层（2）分为左右两部分，所述结构层（2）右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元（21）和第二压阻式加速度计单元（22）；结构层（2）左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元（21、22）的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上，实现了微型化和集成化。