公开(公告)号：CN111868297A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201980017252.6

申请日：2019-02-28

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 平松孝浩 ,  织田容征 ,  波户信义 ,  岩尾有佑

IPC: C23C16/455 ,  B05D3/02

Abstract: 本发明的目的在于提供一种成膜装置，能够不使成膜品质、成膜速度降低地在基板上成膜出薄膜，且实现成膜处理的生产率的提高。本发明中，在加热室(H1)的加热空间(91)内执行通过输送机(33)使基板(10)沿着基板移动方向(D1)移动的第一加热处理。然后，执行通过输送机(13)使基板(10)沿着搬运方向(D3)移动的第一搬运处理。此时，通过薄膜形成喷嘴(11H，11L)向基板(10)喷射原料雾(MT)。接着，执行基于输送机(43)的第二加热处理。然后，执行基于输送机(23)的第二搬运处理。此时，通过薄膜形成喷嘴(12H，12L)向基板(10)喷射原料雾(MT)。

公开(公告)号：CN111868297B

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN201980017252.6

申请日：2019-02-28

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 平松孝浩 ,  织田容征 ,  波户信义 ,  岩尾有佑

IPC: C23C16/455 ,  B05D3/02

Abstract: 本发明的目的在于提供一种成膜装置，能够不使成膜品质、成膜速度降低地在基板上成膜出薄膜，且实现成膜处理的生产率的提高。本发明中，在加热室(H1)的加热空间(91)内执行通过输送机(33)使基板(10)沿着基板移动方向(D1)移动的第一加热处理。然后，执行通过输送机(13)使基板(10)沿着搬运方向(D3)移动的第一搬运处理。此时，通过薄膜形成喷嘴(11H，11L)向基板(10)喷射原料雾(MT)。接着，执行基于输送机(43)的第二加热处理。然后，执行基于输送机(23)的第二搬运处理。此时，通过薄膜形成喷嘴(12H，12L)向基板(10)喷射原料雾(MT)。

公开(公告)号：CN111868298A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201980017491.1

申请日：2019-02-28

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 织田容征 ,  平松孝浩 ,  波户信义 ,  岩尾有佑

IPC: C23C16/455 ,  B05B13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种成膜装置，能够不使成膜品质、成膜速度降低地在基板上成膜出薄膜，并且实现成膜处理的生产率的提高。本发明中，沿着基板搬运路径用圆周(M1)配置加热室(H10)及成膜室(F10)。加热室(H10)及成膜室(F10)相互相邻地配置。通过基板搬运装置(8)，沿着基板搬运路径用圆周(M1)，以基板旋转方向(R1)为移动方向同时搬运多个基板(10)。在加热室(H10)内由红外光照射器(2，4)执行了基板(10)的加热处理之后，在成膜室(F10)内由薄膜形成喷嘴(1L，1H)执行对于基板(10)的雾喷射处理而在多个基板(10)的表面上及背面上分别成膜出薄膜。