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发明公开
一种具有周期性复合型阳极的宽禁带功率二极管审中-实审

公开(公告)号：CN119584557A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411687037.6

申请日：2024-11-25

Applicant: 东南大学

Inventor： 孙伟锋 , 宋风雷 , 李胜 , 李明飞 , 刘斯扬

IPC: H10D8/00 , H10D8/01 , H10D62/80

Abstract: 本发明公开了一种具有周期性复合型阳极的宽禁带功率二极管，自下而上包括：宽禁带半导体材料衬底层，第三阳极沟槽，宽禁带半导体材料外延层及其上的周期性第一阳极沟槽和第二阳极，第一阳极沟槽和宽禁带半导体材料外延层的上表面依次设有第一介质层和第二介质层，第二阳极沟槽和宽禁带半导体材料外延层的上表面设有第二介质层，第三阳极沟槽上设有第三介质层，宽禁带半导体材料外延层的上表面和宽禁带半导体材料衬底层下表面分别设有金属阳极和金属阴极。本发明得益于周期性复合型阳极结构，具有高电流密度、高击穿电压、低导通电阻和低反向漏电的性能优势。

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