一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置

    公开(公告)号:CN116429017A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310523010.2

    申请日:2023-05-10

    Applicant: 东北大学

    Inventor: 何庆 刘通 尹文超

    Abstract: 本发明一种基于相移数字全息的精密表面三维形貌测量装置及方法,该装置包括:产生照射到在被测物体表面并返回的物光束及产生参考光的光束分束模块;接收光束分束模块的产生参考光,基于不同的电压力,产生不同增亮增程后物光束的不同参考光束的参考光束调整模块;接收光束分束模块的产生物光束,进行光束放大的透镜成像系统;接收参考光束调整模块的不同参考光束及透镜成像系统放大后的物光束,分别进行光束合并的第二偏振分光棱镜;对合并后的一系列光束分别发生干涉的线偏振片;对一系列干涉图像进行采集的图像采集模块;接收图像采集模块传送的一系列干涉图像,采用相移算法提取物光的相位信息实现被测体表面三维形貌的测量的计算机。

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