公开(公告)号：CN100364039C

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200410032743.3

申请日：2004-04-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  株式会社东芝

Inventor： 寄特利彦 ,  丹羽慎治 ,  保坂聪树 ,  北泽贵 ,  三田淳夫 ,  佐藤义隆

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67745

Abstract: 蚀刻处理装置(1)具备传送腔(2)，多个处理腔(3、4)，多个盒腔(7、8)，在传送腔(2)内设置传送机构(14)。在传送机构(14)的动作停止了预定时间及预定时间以上之际，控制装置(17)关闭对设置有该传送机构的传送腔(2)进行真空排气的真空排气机构的开闭阀(15)，并停止真空泵(16)的动作。据此，可以实施节省能量而不引起生产性降低。

公开(公告)号：CN1538502A

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：CN200410032743.3

申请日：2004-04-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  株式会社东芝

Inventor： 寄特利彦 ,  丹羽慎治 ,  保坂聪树 ,  北泽贵 ,  三田淳夫 ,  佐藤义隆

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67745

Abstract: 蚀刻处理装置(1)具备传送腔(2)，多个处理腔(3、4)，多个盒腔(7、8)，在传送腔(2)内设置传送机构(14)。在传送机构(14)的动作停止了预定时间及预定时间以上之际，控制装置(17)关闭对设置有该传送机构的传送腔(2)进行真空排气的真空排气机构的开闭阀(15)，并停止真空泵(16)的动作。据此，可以实施节省能量而不引起生产性降低。