公开(公告)号：CN101320676A

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200810099893.4

申请日：2008-06-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山涌纯 ,  守屋刚 ,  药师寺秀明 ,  阿部和正

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  B01J3/03

CPC classification number: H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 本发明提供一种抽真空方法和存储介质，该抽真空方法不会引起以水分为原因的问题，能够缩短抽真空的时间。在具有腔室(11)的真空处理装置(10)中，在对腔室(11)内抽真空时，通过APC阀(16)在一定的时间，例如数十秒的过程中，将腔室(11)内的压力维持为6.7～13.3×102Pa(5～10Torr)(压力维持)，接着，向腔室(11)内迅速导入加热气体，使腔室11内迅速升压至1.3～2.7×104Pa(100～200Torr)(迅速升压)，在时间T1到时间T2之间，多次重复压力维持和迅速升压。

公开(公告)号：CN101320676B

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200810099893.4

申请日：2008-06-06

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山涌纯 ,  守屋刚 ,  药师寺秀明 ,  阿部和正

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  B01J3/03

CPC classification number: H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 本发明提供一种抽真空方法和存储介质，该抽真空方法不会引起以水分为原因的问题，能够缩短抽真空的时间。在具有腔室(11)的真空处理装置(10)中，在对腔室(11)内抽真空时，通过APC阀(16)在一定的时间，例如数十秒的过程中，将腔室(11)内的压力维持为6.7～13.3×102Pa(5～10Torr)(压力维持)，接着，向腔室(11)内迅速导入加热气体，使腔室11内迅速升压至1.3～2.7×104Pa(100～200Torr)(迅速升压)，在时间T1到时间T2之间，多次重复压力维持和迅速升压。