公开(公告)号：CN110088350B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN201780075390.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林义之 ,  吉井直树 ,  门沢克治 ,  梶公智

IPC: C23C4/06 ,  C23C4/08 ,  C23C4/134 ,  H01G11/86 ,  H01G13/00 ,  H01M4/04 ,  H01M4/139 ,  H05H1/26

Abstract: 本发明提供一种等离子体喷涂装置，具有：供给部，将喷涂材料的粉末用等离子体生成气体来运送，从前端部的开口进行喷射；等离子体生成部，利用500W～10kW的电力将喷射出的上述等离子体生成气体分解而生成等离子体；以及，腔室，使上述供给部和上述等离子体生成部成为封闭空间，利用在该封闭空间中生成的上述等离子体使上述喷涂材料的粉末熔融而成膜于对象物，其中，上述喷涂材料为锂(Li)、铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)和金(Au)中的任一者，上述喷涂材料的粉末为1μm～50μm的粒径。

公开(公告)号：CN110088350A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201780075390.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林义之 ,  吉井直树 ,  门沢克治 ,  梶公智

IPC: C23C4/08 ,  C23C4/134 ,  H01G11/86 ,  H01G13/00 ,  H01M4/04 ,  H01M4/139 ,  H05H1/26

Abstract: 本发明提供一种等离子体喷涂装置，具有：供给部，将喷涂材料的粉末用等离子体生成气体来运送，从前端部的开口进行喷射；等离子体生成部，利用500W～10kW的电力将喷射出的上述等离子体生成气体分解而生成等离子体；以及，腔室，使上述供给部和上述等离子体生成部成为封闭空间，利用在该封闭空间中生成的上述等离子体使上述喷涂材料的粉末熔融而成膜于对象物，其中，上述喷涂材料为锂(Li)、铝(Al)、铜(Cu)、银(Ag)和金(Au)中的任一者，上述喷涂材料的粉末为1μm～50μm的粒径。