公开(公告)号：CN100337313C

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN03807528.8

申请日：2003-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 石原博之 ,  荒木阳一 ,  高桥俊树 ,  久保卓也 ,  伊藤淳 ,  小野洋子

IPC: H01L21/3065

Abstract: 提供了一种可提高处理区域内的处理气体排气效率，和可以可靠抑制等离子体泄漏的等离子体处理装置。磁控管式平行平板等离子体处理装置(30)具有处理室容器(3)；处理室容器(3)包括：在其顶部有多个气体导入孔的上部电极(1)；在其下部有顶部带有载置作为被处理体的半导体晶片(W)的载置面的下部电极(2)；和在下部电极(2)的顶部位置上，将处理室容器(3)内部隔离成处理区域(8)和排气区域(9)的隔离板(50)。隔离板(50)具有应将处理区域(8)内的处理气体排出至排气区域(9)的、连通处理区域(8)和排气区域(9)的多个气体通路孔(5a)；同时由非导电性部(5b)构成。在与气体通路孔(5a)相对的气体通路侧面(20b)上配置导电性部件(5c)。在导电性部件(5c)上，由电源(21)加电压(V)，使气体通路侧面(20b)的电位比处理区域面(20a)的电位高。

公开(公告)号：CN1647256A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03807528.8

申请日：2003-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 石原博之 ,  荒木阳一 ,  高桥俊树 ,  久保卓也 ,  伊藤淳 ,  小野洋子

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32834 ,  H01J37/32633

Abstract: 提供了一种可提高处理区域内的处理气体排气效率，和可以可靠抑制等离子体泄漏的等离子体处理装置。磁控管式平行平板等离子体处理装置(30)具有处理室容器(3)；处理室容器(3)包括：在其顶部有多个气体导入孔的上部电极(1)；在其下部有顶部带有载置作为被处理体的半导体晶片(W)的载置面的下部电极(2)；和在下部电极(2)的顶部位置上，将处理室容器(3)内部隔离成处理区域(8)和排气区域(9)的隔离板(50)。隔离板(50具有应将处理区域(8)内的处理气体排出至排气区域(9)的、连通处理区域(8)和排气区域(9)的多个气体通路孔(5a)；同时由非导电性部(5b)构成。在与气体通路孔(5a)相对的气体通路侧面(20b)上配置导电性部件(5c)。在导电性部件(5c)上，由电源(21)加电压(V)，使气体通路侧面(20b)的电位比处理区域面(20a)的电位高。

公开(公告)号：CN1630872A

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN03803617.7

申请日：2003-02-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 西川浩 ,  荒木阳一 ,  浜贵一

IPC: G06F17/60

CPC classification number: G06Q10/06 ,  G06Q10/06311 ,  G06Q10/06375

Abstract: 服务器(210)在从终端装置(110)接收到服务一览请求信息时，根据接收的顾客指定信息，从顾客信息管理数据库中检索取得该顾客的场所信息，同时从人材信息管理数据库(222)中取得提供服务的各人材的场所信息，根据交通信息管理数据库(232)的交通部门时刻信息和交通费用信息，求出移动到顾客所在地需要的移动时间和交通费用，根据求出的移动时间计算直至在顾客所在地可提供服务所需时间，同时根据求出的交通费用来计算服务费用，对各人材生成至少将所需时间和服务费用相关联的服务一览信息，并发送到终端装置。由此，可容易获得大致标准的信息，以便顾客选择提供维修等服务的人材、直至提供服务所需的时间、费用等的最佳服务。