公开(公告)号：CN108884566A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021606.5

申请日：2017-03-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广瀬胜人 ,  长谷川敏夫 ,  吉田昌平 ,  篠原猛 ,  川崎真司

IPC: C23C16/52 ,  G05B23/02 ,  H01L21/205

Abstract: 提供一种异常探测系统，所述异常探测系统具有：第一控制器，其控制基板处理装置；以及第二控制器，其按照该第一控制器的指示来对设置于所述基板处理装置的设备进行控制，所述异常探测系统探测所述设备的异常，其中，所述第二控制器具有存储部，所述存储部在规定的周期中的规定时间内以规定的采样间隔收集所述设备的状态信号，并累积所收集到的该设备的状态信号，所述第一控制器具有异常判定部，所述异常判定部以所述规定时间以上的时间间隔从所述第二控制器获取累积的所述设备的状态信号，基于获取到的所述设备的状态信号来判定所述设备有无异常。

公开(公告)号：CN108884566B

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201780021606.5

申请日：2017-03-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广瀬胜人 ,  长谷川敏夫 ,  吉田昌平 ,  篠原猛 ,  川崎真司

IPC: C23C16/52 ,  G05B23/02 ,  H01L21/205

Abstract: 提供一种异常探测系统，所述异常探测系统具有：第一控制器，其控制基板处理装置；以及第二控制器，其按照该第一控制器的指示来对设置于所述基板处理装置的设备进行控制，所述异常探测系统探测所述设备的异常，其中，所述第二控制器具有存储部，所述存储部在规定的周期中的规定时间内以规定的采样间隔收集所述设备的状态信号，并累积所收集到的该设备的状态信号，所述第一控制器具有异常判定部，所述异常判定部以所述规定时间以上的时间间隔从所述第二控制器获取累积的所述设备的状态信号，基于获取到的所述设备的状态信号来判定所述设备有无异常。