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发明公开
捕集装置和基板处理装置审中-实审

公开(公告)号：CN113764307A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110585260.X

申请日：2021-05-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 根津崇明 , 大和优太 , 川岛章义 , 稻妻大树 , 三浦和幸

IPC: H01L21/67 , H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种捕集装置和基板处理装置，能够高效地捕获排出气体中包含的对象物。捕集装置具有：筒状的壳体，其具有供经由排气管排出的排出气体流通的流路；板状的第一捕集构件，其以在从沿着壳体的中心轴的方向观察时遮蔽流路的中央部的方式配置于壳体内；以及板状的第二捕集构件，其以在沿着壳体的中心轴的方向上与第一捕集构件隔开间隔的方式配置于壳体内，所述第二捕集构件在与第一捕集构件对应的位置具有开口。

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