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公开(公告)号：CN120072690A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202411640364.6
申请日：2024-11-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , F25D31/00 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种提高冷却性的基板处理装置。基板处理装置具备：处理容器；载置台，其设于所述处理容器内，具有第1接触面，构成为能够旋转；冷冻装置，其具有第2接触面，构成为能够升降；旋转装置，其使所述载置台旋转；以及升降装置，其使所述冷冻装置升降，能够使所述第2接触面与所述第1接触面热连接和分离，所述冷冻装置具有：冷冻机；以及冷传递件，其一端与所述冷冻机热连接，在另一端具有所述第2接触面，所述冷传递件的体积大于所述载置台的体积。
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