公开(公告)号：CN110741467B

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN201880037487.7

申请日：2018-05-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 伊恩·科尔根 ,  伊万·多姆沙 ,  乔治·艾尔斯 ,  齐藤诚 ,  诺埃尔·奥肖内西 ,  石井彻 ,  大卫·赫尔利

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324 ,  H01L21/677

Abstract: 描述了关于使用竖直多批次直立磁性退火系统来处理微电子工件的退火系统和相关方法的实施方式，该磁性退火系统允许多个退火系统的并排配置以满足减小的占用空间要求。

公开(公告)号：CN110741467A

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：CN201880037487.7

申请日：2018-05-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 伊恩·科尔根 ,  伊万·多姆沙 ,  乔治·艾尔斯 ,  齐藤诚 ,  诺埃尔·奥肖内西 ,  石井彻 ,  大卫·赫尔利

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324 ,  H01L21/677

Abstract: 描述了关于使用竖直多批次直立磁性退火系统来处理微电子工件的退火系统和相关方法的实施方式，该磁性退火系统允许多个退火系统的并排配置以满足减小的占用空间要求。