公开(公告)号：CN110416117B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN201910332998.8

申请日：2019-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 井上久司 ,  小林正寿 ,  高桥通宏 ,  畠山保 ,  长谷川阳成 ,  菊池浩 ,  熊谷芳久

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种能够缩短半导体制造装置的组装工期的技术。本发明的一个方式的半导体制造装置的组装装置是包括在下端具有开口的反应管的半导体制造装置的组装装置，其包括：主体；升降装置，其安装在上述主体，用于保持上述反应管并使其升降；对上述反应管的内部供给气体的气体供给装置；和对上述反应管的内部进行排气的排气装置。

公开(公告)号：CN110416117A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201910332998.8

申请日：2019-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 井上久司 ,  小林正寿 ,  高桥通宏 ,  畠山保 ,  长谷川阳成 ,  菊池浩 ,  熊谷芳久

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种能够缩短半导体制造装置的组装工期的技术。本发明的一个方式的半导体制造装置的组装装置是包括在下端具有开口的反应管的半导体制造装置的组装装置，其包括：主体；升降装置，其安装在上述主体，用于保持上述反应管并使其升降；对上述反应管的内部供给气体的气体供给装置；和对上述反应管的内部进行排气的排气装置。

公开(公告)号：CN306104780S

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202030081986.6

申请日：2020-03-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 小林正寿 ,  高桥通宏 ,  长谷川阳成 ,  熊谷芳久

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：搬运台车。
2.本外观设计产品的用途：如使用状态参考图所示，本物品用于在工厂内搬运晶片制造装置。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN306025829S

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN202030083476.2

申请日：2020-03-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 小林正寿 ,  高桥通宏 ,  长谷川阳成 ,  熊谷芳久

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：搬运台车。
2.本外观设计产品的用途：本物品用于在工厂内搬运晶片制造装置。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN306046137S

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN202030083475.8

申请日：2020-03-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 小林正寿 ,  高桥通宏 ,  长谷川阳成 ,  熊谷芳久

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：台车搬运车。
2.本外观设计产品的用途：如使用状态参考图所示，本物品用于搬运车轮直径小的小型台车，该台车用于在工厂内搬运晶片制造装置。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.左视图与右视图对称，省略左视图。