公开(公告)号：CN108695206B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN201810291068.8

申请日：2018-03-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 樱林务 ,  辻德彦

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置和基板搬送方法。在向各种处理装置搬送基板的搬送装置中，维持壳体内的气氛的清洁度。大气压搬送装置具有：晶圆搬送机构，其保持并搬送晶圆；壳体，其收纳晶圆搬送机构；气体供给部，其向壳体内供给非活性气体；气体循环部，其使从壳体排出的气体返回到该壳体内；以及异物去除部，其将从壳体排出的气体中的异物去除。气体循环部具有：加湿部，其对从壳体排出的气体附加水分；过滤器，其利用该气体中的水分来吸附并去除被加湿部加湿后的气体中含有的有机物；以及除湿部，其从被过滤器去除了有机物的气体中去除水分。

公开(公告)号：CN108695206A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810291068.8

申请日：2018-03-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 樱林务 ,  辻德彦

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67196 ,  B01D53/04 ,  B01D53/06 ,  B01D53/261 ,  B01D53/44 ,  B01D2253/108 ,  B01D2256/10 ,  B01D2256/18 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/80 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/40088 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置和基板搬送方法。在向各种处理装置搬送基板的搬送装置中，维持壳体内的气氛的清洁度。大气压搬送装置具有：晶圆搬送机构，其保持并搬送晶圆；壳体，其收纳晶圆搬送机构；气体供给部，其向壳体内供给非活性气体；气体循环部，其使从壳体排出的气体返回到该壳体内；以及异物去除部，其将从壳体排出的气体中的异物去除。气体循环部具有：加湿部，其对从壳体排出的气体附加水分；过滤器，其利用该气体中的水分来吸附并去除被加湿部加湿后的气体中含有的有机物；以及除湿部，其从被过滤器去除了有机物的气体中去除水分。