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公开(公告)号：CN119028867A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202410609342.7
申请日：2024-05-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和搬送位置调整方法。本发明能够抑制基板在处理容器的内部与外部的相对的位置偏移。基板处理装置具备对基板进行处理的处理单元。处理单元具有：处理容器，其收容基板；第一支承部，其在处理容器的内部将基板水平地支承；以及第二支承部，其在处理容器的外部将基板水平地支承。第一支承部和第二支承部以至少在从相对于处理容器搬入和搬出基板的方向观察时处理容器的内部的基板的中心轴与处理容器的外部的基板的中心轴彼此一致的方式支承基板。
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