公开(公告)号：CN119156688A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202380038791.4

申请日：2023-04-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中村隆央 ,  小川裕亮 ,  加藤隆彦 ,  茂木弘典

IPC: H01L21/00 ,  G05B19/418 ,  G06N20/00 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供模型生成方法、计算机程序以及信息处理装置。由计算机执行如下的处理：获取用于构建工艺配方的多个变量组、表示执行工艺配方的特定步骤之前的被处理体的状态的状态数据、以及表示被处理体的目标状态的目标数据；从多个变量组选择一个变量组，对通过执行由所选择的一个变量组表征的一个步骤而得到的上述被处理体的状态进行评价；以及通过使用获取到的状态数据及目标数据、以及根据所评价的上述被处理体的状态而决定的报酬的强化学习，生成用于工艺配方构建的模型。

公开(公告)号：CN117950370A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202311390641.8

申请日：2023-10-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 茂木弘典 ,  西塚哲也 ,  本田昌伸 ,  小川裕亮

IPC: G05B19/418

Abstract: 本发明提供能够高精度地预测对被处理体执行了工艺处理后的被处理体的状态的信息处理装置和信息处理方法。信息处理装置包括：构成为生成模拟数据的生成部，其中，模拟数据包含被处理体的处理前数据与在预先决定的处理条件下对被处理体执行了工艺处理后的处理后数据的多个组合，该组合包含按多个掩模形状的每一者以多种图案密度执行了工艺处理时的处理前数据和处理后数据；以及导出部，其构成为基于通过将模拟数据所包含的处理前数据输入到形状模拟器而预测的预测数据与跟该处理前数据组合的处理后数据的接近度，来导出形状模拟器的模拟参数。

公开(公告)号：CN115423738A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202210517992.X

申请日：2022-05-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 穐山大志郎 ,  小川裕亮 ,  水内毅 ,  加藤隆彦 ,  小松智希 ,  中乡孝祐 ,  大友雄平 ,  刘鸿志

IPC: G06T7/00 ,  G06N3/12 ,  H01L21/66

Abstract: 一种评价装置,具有:存储部,其将以将处理前的对象物的形状信息输入形状模拟器的情况下的输出接近在规定的处理条件下对处理前的对象物进行处理的情况下的处理后的对象物的形状信息的方式计算的形状模拟器的模拟参数与表示被视为与处理前的对象物相同的形状的形状范围的第一范围信息或者表示被视为与处理后的对象物相同的形状的形状范围的第二范围信息建立对应关系地进行存储；预测部,其将处理前新的对象物的形状信息和模拟参数输入形状模拟器,对于处理后的新的对象物的形状信息进行预测；以及评价部,其输出将处理前的新的对象物的形状信息与第一范围信息对比的结果或者输出将处理后的新的对象物的形状信息与第二范围信息对比的结果。