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公开(公告)号：CN113909041A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202110726624.1
申请日：2021-06-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05B15/68
Abstract: 本发明涉及液滴释放装置和位置调整方法，其在液滴释放装置中进行头部的位置调整。本发明的液滴释放装置包括释放单元、运送单元和调整单元。释放单元具有：形成有多个开口部的承载器；多个头部，其以覆盖开口部的方式设置在承载器，能够释放功能液的液滴；和能够相对于承载器对头部进行固定和固定解除的多个固定部。运送单元配置在释放单元的下方，沿水平方向运送基片。调整单元从释放单元的下方访问以调整头部的位置。
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