公开(公告)号：CN111326446B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201911248706.9

申请日：2019-12-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 增永正义 ,  佐佐木丰

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供热处理装置。本发明的一个方式的热处理装置包括：纵长的处理容器；设置于上述处理容器的周围的加热装置；温度传感器，其沿上述处理容器的长边方向设置在上述处理容器内或者上述处理容器与上述加热装置之间的空间；和一对分隔件，其在上述空间以隔着从上述处理容器的中心轴延伸而通过上述温度传感器的半直线的方式设置，并沿上述处理容器的长边方向延伸。本发明能够提高热处理时的温度再现性。

公开(公告)号：CN111326446A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201911248706.9

申请日：2019-12-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 增永正义 ,  佐佐木丰

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供热处理装置。本发明的一个方式的热处理装置包括：纵长的处理容器；设置于上述处理容器的周围的加热装置；温度传感器，其沿上述处理容器的长边方向设置在上述处理容器内或者上述处理容器与上述加热装置之间的空间；和一对分隔件，其在上述空间以隔着从上述处理容器的中心轴延伸而通过上述温度传感器的半直线的方式设置，并沿上述处理容器的长边方向延伸。本发明能够提高热处理时的温度再现性。