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公开(公告)号：CN110785834B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201880041638.6
申请日：2018-06-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B7/04 , B24B49/02 , B24B49/12 , H01L21/683
Abstract: 使正面粘贴有保护带的基板薄化的基板处理方法具有测量所述保护带的厚度的带厚度测量工序和在带厚度测量工序之后使用磨削部对保持于基板保持部的基板的背面进行磨削的磨削工序。
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公开(公告)号：CN115279549B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202180021045.5
申请日：2021-03-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 去除加工装置具有台、多个卡盘、喷嘴以及台罩。所述台水平地配置，并以铅垂的旋转中心线为中心旋转。多个所述卡盘绕所述台的旋转中心线空开间隔地配置。所述喷嘴对由所述卡盘保持着的基板供给加工液。所述台罩在所述台的上方承接所述加工液。所述台罩具有越远离所述台的旋转中心线高度越低、且在所述台的旋转方向上高度一定的圆锥形状的倾斜部。
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公开(公告)号：CN103367691A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310109916.6
申请日：2013-03-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01M2/36 , H01M10/0525
Abstract: 本发明提供一种电解液注入方法以及电解液注入装置，不混入空气、气泡并且也不混入水分地在电池(特别是锂离子电容器)的单元容器内注入非水系电解液。该电解液注入装置具备循环注液部(16)、吹扫部(18)、真空部(20)以及控制器(22)。循环注液部(16)具有：缓冲罐(24)，其临时储存电解液(EL)；去往路径(26)，其在缓冲罐(24)的出口(24a)与单元容器(10)的第一端口(12)之间形成流路；返回路径(28(28A、28B))，其在缓冲罐(24)的回收口(24b)与单元容器(10)的第二端口(14)之间形成流路；泵(30)，其设置于去往路径(26)；以及注液监视用的液量变化监视部(32)和气泡监视部(34)。
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公开(公告)号：CN101206412A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710159744.8
申请日：2007-12-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/38 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/677 , F26B5/04 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并防止转印痕迹附着在基板上的涂敷膜上。该减压干燥单元(VD)(46)通过搬入侧滚轴搬送路(104)的滚轴搬送和台(122)上的浮起式辊搬送，将应接受减压干燥处理的基板G搬入腔室(106)中，通过台(122)上的浮起式辊搬送路的浮起式辊搬送和搬出侧滚轴搬送路(110)的滚轴搬送，将在腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G向腔室(106)外搬出。在减压干燥处理中，基板G以面接触状态载置在台(122)的上面。
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公开(公告)号：CN101183224A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710170254.8
申请日：2007-11-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/38 , H01L21/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并最小限度抑制附着在基板的涂敷膜上的基板接触部的转印痕迹。该减压干燥单元(VD)(46)通过在搬入侧滚动搬送通路(104a)和内部滚动搬送通路(104b)上进行的滚动搬送，以滚动搬送方式将应接受减压干燥处理的基板G搬入到腔室(106)内，通过内部滚动搬送通路(104b)和搬出侧滚动搬送通路(104c)上进行的滚动搬送，将腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G搬出腔室(106)外。在减压干燥处理中，多个升降销(128)使基板G保持水平姿势将其从滚动搬送通路(104b)向上方提起，以极细销尖部支撑基板G。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110785834A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201880041638.6
申请日：2018-06-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B7/04 , B24B49/02 , B24B49/12 , H01L21/683
Abstract: 使正面粘贴有保护带的基板薄化的基板处理方法具有测量所述保护带的厚度的带厚度测量工序和在带厚度测量工序之后使用磨削部对保持于基板保持部的基板的背面进行磨削的磨削工序。
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公开(公告)号：CN115279549A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202180021045.5
申请日：2021-03-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 去除加工装置具有台、多个卡盘、喷嘴以及台罩。所述台水平地配置，并以铅垂的旋转中心线为中心旋转。多个所述卡盘绕所述台的旋转中心线空开间隔地配置。所述喷嘴对由所述卡盘保持着的基板供给加工液。所述台罩在所述台的上方承接所述加工液。所述台罩具有越远离所述台的旋转中心线高度越低、且在所述台的旋转方向上高度一定的圆锥形状的倾斜部。
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公开(公告)号：CN101183224B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200710170254.8
申请日：2007-11-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/38 , H01L21/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并最小限度抑制附着在基板的涂敷膜上的基板接触部的转印痕迹。该减压干燥单元(VD)(46)通过在搬入侧滚动搬送通路(104a)和内部滚动搬送通路(104b)上进行的滚动搬送，以滚动搬送方式将应接受减压干燥处理的基板G搬入到腔室(106)内，通过内部滚动搬送通路(104b)和搬出侧滚动搬送通路(104c)上进行的滚动搬送，将腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G搬出腔室(106)外。在减压干燥处理中，多个升降销(128)使基板G保持水平姿势将其从滚动搬送通路(104b)向上方提起，以极细销尖部支撑基板G。
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公开(公告)号：CN101206412B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200710159744.8
申请日：2007-12-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/38 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/677 , F26B5/04 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出并防止转印痕迹附着在基板上的涂敷膜上。该减压干燥单元(VD)(46)通过搬入侧滚轴搬送路(104)的滚轴搬送和台(122)上的浮起式辊搬送，将应接受减压干燥处理的基板G搬入腔室(106)中，通过台(122)上的浮起式辊搬送路的浮起式辊搬送和搬出侧滚轴搬送路(110)的滚轴搬送，将在腔室(106)内完成减压干燥处理的基板G向腔室(106)外搬出。在减压干燥处理中，基板G以面接触状态载置在台(122)的上面。
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公开(公告)号：CN1913101A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610115720.8
申请日：2006-08-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/683 , G03F7/38 , G03F7/16 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，即使基板为大型、安全性也优异，并能抑制振动的产生，且能可靠地防止涂敷在基板上的涂敷液发生转印。该减压干燥装置具备：在侧壁部具有搬入基板的搬入口和搬出基板的搬出口，将从搬入口搬入的基板以大致水平状态收容的腔室；对搬入口和搬出口进行开关的门部件；在利用门部件关闭搬入口和搬出口的状态下，对腔室内进行减压的减压机构；大致水平地搬送基板，将其从搬入口搬入到腔室内，并且，在利用减压机构进行减压干燥处理后，大致水平地搬送该基板，将其从搬出口搬出到腔室之外的搬送机构；和在腔室内，不是局部地支撑、而是能够均匀地支撑基板的带。
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