公开(公告)号：CN102903651B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201210258971.7

申请日：2012-07-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 田中诚治 ,  吉矢秀人 ,  酒井俊充

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/205

Abstract: 本发明提供一种能够使基板的温度快速变化的温度控制单元。与基板（W）接触对该基板（W）的温度进行控制的温度控制单元（15）具备：与基板（W）接触的板状的单元主体（16）、埋设在单元主体（16）内的多个直线状的加热器（17）、和形成于单元主体（16）内并在内部流通规定温度的介质的冷却流路。各加热器（17）彼此平行地配置，冷却流路（18）以经由相邻的两个加热器（17）之间的部分的方式配置。在俯视单元主体（16）时的与一个加热器（17）垂直的方向，各加热器（17）和冷却流路（18）以等间隔交替配置。

公开(公告)号：CN102903651A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201210258971.7

申请日：2012-07-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 田中诚治 ,  吉矢秀人 ,  酒井俊充

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/205

Abstract: 本发明提供一种能够使基板的温度快速变化的温度控制单元。与基板（W）接触对该基板（W）的温度进行控制的温度控制单元（15）具备：与基板（W）接触的板状的单元主体（16）、埋设在单元主体（16）内的多个直线状的加热器（17）、和形成于单元主体（16）内并在内部流通规定温度的介质的冷却流路。各加热器（17）彼此平行地配置，冷却流路（18）以经由相邻的两个加热器（17）之间的部分的方式配置。在俯视单元主体（16）时的与一个加热器（17）垂直的方向，各加热器（17）和冷却流路（18）以等间隔交替配置。