公开(公告)号：CN102881618A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201210245908.X

申请日：2012-07-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 阪上博充 ,  小泽雅仁 ,  古屋雄一 ,  信田菜奈子 ,  广瀬胜人 ,  稻垣守人

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种在真空中进行伴随热的处理的基板处理装置，基板处理系统和基板搬送方法，即使以高速搬送基板也能够提高基板的位置精度。对进行伴随热的真空处理的真空处理单元搬入和搬出基板的基板搬送装置，包括：具有决定基板位置的定位销，在对基板定位的状态下保持基板的拾取器；以通过拾取器对真空处理单元进行基板的搬入和搬出的方式驱动拾取器的驱动部；和控制拾取器的基板搬送动作的搬送控制部，搬送控制部，预先掌握在将基板搬入真空处理单元时的常温中基板的基准位置信息，在实际处理中，将基板搬入真空处理单元时，计算从该基板的基准位置的位置偏移，控制驱动部来修正位置偏移，将基板搬入真空处理单元。

公开(公告)号：CN116982145A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202280021431.9

申请日：2022-03-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 信田菜奈子 ,  冈野真也

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种校正基板的位置偏差并进行传送的基板传送方法。该基板传送方法包括下述步骤：以第一传送装置的拾取部接收第一基板和第二基板；检测第一基板的偏移量和第二基板的偏移量；基于第一基板的偏移量，计算拾取部的转送位置的校正量；使其移动到校正后的拾取部的转送位置，将第一基板转送到第二室的第一载置部，并将第二基板转送到第二室的第二载置部；使第二传送装置的第一拾取部移动到第一载置部的接收位置，以第一拾取部接收第一基板；基于拾取部的转送位置的校正量和第二基板的偏移量，计算第二传送装置的第二拾取部的接收位置的校正量；以及使第二传送装置的第二拾取部移动到校正后的第二拾取部的接收位置，以第二拾取部接收第二基板。