公开(公告)号：CN103188835B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201210584999.X

申请日：2012-12-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  河西繁 ,  山下润 ,  伴昌和

IPC: H05B6/64 ,  H05B6/80 ,  H01L21/67

CPC classification number: H05B6/6402 ,  H05B6/6426 ,  H05B6/70 ,  H05B6/707 ,  H05B6/72 ,  H05B6/806

Abstract: 本发明提供电力的利用效率和加热效率优异、能够对被处理体进行均匀的处理的微波加热处理装置和处理方法。在微波加热处理装置（1）中，在处理容器（2）的顶部（11），四个微波导入口（10）分别配置为以其长边和短边与四个侧壁部（12A、12B、12C、12D）的内壁面平行，且配置于相互变更90°角度的旋转位置。各微波导入口（10）配置为，在沿与各自的长边垂直的方向平行移动的情况下，不与具有平行的长边的其它微波导入口（10）重叠。

公开(公告)号：CN103188835A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201210584999.X

申请日：2012-12-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 池田太郎 ,  河西繁 ,  山下润 ,  伴昌和

IPC: H05B6/64 ,  H05B6/80 ,  H01L21/67

CPC classification number: H05B6/6402 ,  H05B6/6426 ,  H05B6/70 ,  H05B6/707 ,  H05B6/72 ,  H05B6/806

Abstract: 本发明提供电力的利用效率和加热效率优异、能够对被处理体进行均匀的处理的微波加热处理装置和处理方法。在微波加热处理装置（1）中，在处理容器（2）的顶部（11），四个微波导入口（10）分别配置为以其长边和短边与四个侧壁部（12A、12B、12C、12D）的内壁面平行，且配置于相互变更90°角度的旋转位置。各微波导入口（10）配置为，在沿与各自的长边垂直的方向平行移动的情况下，不与具有平行的长边的其它微波导入口（10）重叠。

公开(公告)号：CN301895306S

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201130327098.9

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  山下润 ,  伴昌和 ,  植田笃

Abstract: 1.外观设计产品的名称：等离子体处理装置的衬里。2.外观设计产品的用途：本产品是设置在使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置内壁上的衬里，用于防止处理容器的构成材料等造成金属污染。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN301872687S

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201130327096.X

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  山下润 ,  伴昌和 ,  植田笃

Abstract: 1.外观设计产品的名称：等离子体处理装置的衬里。2.外观设计产品的用途：本产品是设置在使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置内壁上的衬里，用于防止处理容器的构成材料等造成金属污染。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：主视图。5.后视图、左视图分别与主视图、右视图对称，故省略后视图和左视图。