公开(公告)号：CN1690853B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200510071704.9

申请日：2005-04-26

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 中里俊二 ,  水泽龙马 ,  带谷洋之 ,  小野贵司 ,  不二门勇介

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/027 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/114

Abstract: 一种可得到具有平衡的防喷砂性能和显影性能的干膜的光敏性树脂组合物。含有酸值小于10mgKOH/g、每分子含有两个或多个(甲基)丙烯酰基的含有羧基的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物，碱性可溶聚合物化合物，光致聚合引发剂和在其结构中包括由式(I)表示的结构单元的可光致聚合化合物(D)的光敏性树脂组合物可得到优良平衡的性能。

公开(公告)号：CN1690853A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510071704.9

申请日：2005-04-26

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 中里俊二 ,  水泽龙马 ,  带谷洋之 ,  小野贵司 ,  不二门勇介

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/027 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/114

Abstract: 一种可得到具有平衡的防喷砂性能和显影性能的干膜的光敏性树脂组合物。含有酸值小于10mgKOH/g、每分子含有两个或多个(甲基)丙烯酰基的含有羧基的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物，碱性可溶聚合物化合物，光致聚合引发剂和在其结构中包括由式(I)表示的结构单元的可光致聚合化合物(D)的光敏性树脂组合物可得到优良平衡的性能。