公开(公告)号：CN1611304A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：CN200410095195.9

申请日：2004-10-27

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 大渊一人 ,  升芳明

IPC: B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种在两端部的涂布液流量难以降低的狭缝喷嘴。狭缝喷嘴由左右半体(2、3)构成，一个半体(2)的对接面设为平面，同时，在另一个半体(3)的中间位置上形成沿长度方向延伸的集合管(4)，在集合管(4)上方的部分(5)形成与半体(2)接合的接合面，在集合管(4)下方的部分(6)比上方部分(5)被更多地研磨而后退，在与半体(2)对接的对接面之间形成间隙，该间隙成为狭缝喷嘴的喷出口(7)的宽度尺寸(W)，进而，该狭缝喷嘴(1)的两侧端通过侧板(8、9)被不透液地封闭。侧板(8、9)由树脂等疏水性材料构成，或者在侧板(8、9)的同半体(2、3)接合的内侧面上涂覆疏水涂层。

公开(公告)号：CN100500302C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200410095195.9

申请日：2004-10-27

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 大渊一人 ,  升芳明

IPC: B05C5/02 ,  B05B1/04 ,  H01L21/30

Abstract: 本发明提供一种在两端部的涂布液流量难以降低的狭缝喷嘴。狭缝喷嘴由左右半体(2、3)构成，一个半体(2)的对接面设为平面，同时，在另一个半体(3)的中间位置上形成沿长度方向延伸的集合管(4)，在集合管(4)上方的部分(5)形成与半体(2)接合的接合面，在集合管(4)下方的部分(6)比上方部分(5)被更多地研磨而后退，在与半体(2)对接的对接面之间形成间隙，该间隙成为狭缝喷嘴的喷出口(7)的宽度尺寸(W)，进而，该狭缝喷嘴(1)的两侧端通过侧板(8、9)被不透液地封闭。侧板(8、9)由树脂等疏水性材料构成，或者在侧板(8、9)的同半体(2、3)接合的内侧面上涂覆疏水涂层。