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公开(公告)号：CN101611350A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200880004802.2
申请日：2008-02-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08F290/06 , C08F299/02 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/004 , G03F7/022 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供使用酚醛清漆树脂、具有良好的机械特性、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。通式(1)～(2)中，R1和R2分别可以相同或不同，表示碳原子数为2以上的2价～8价有机基团。R3和R4分别可以相同或不同，表示氢或碳原子数为1～20的1价有机基团。通式(1)的－NH－R5和通式(2)的－CO－R6表示聚合物的末端基团，R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2～30的1价有机基团。n表示10～100,000的范围，l和m表示0～2的整数，p和q表示0～4的整数。其中p+q＞0。
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公开(公告)号：CN1267501C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN03152545.8
申请日：2003-08-01
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L79/08
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/108
Abstract: 本发明公开了一种涂布均匀性好的感光性树脂前体组合物，含有(a)耐热性树脂前体聚合物，(b)辐射敏感性化合物，(c)通式(1)表示的溶剂。(式中，R1表示C1-C3的烷基，R2、R3、R4、R5分别表示氢或C1-C3的烷基。1表示0-3的整数)。
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公开(公告)号：CN102292675B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201080005046.2
申请日：2010-12-07
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: C08L79/08 , C08G73/10 , C08K5/29 , C08K5/5425 , C08K5/5435 , C08L63/00 , G03F7/0233 , G03F7/0751
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物的保存稳定性、特别是灵敏度稳定性优异，能够得到在350℃以上的高温加热处理后、或在空气中的加热处理后与基板的密合性优异的固化膜。所述正型感光性树脂组合物含有：(a)以选自聚酰亚胺前体结构、聚苯并噁唑前体结构、及聚酰亚胺结构中的至少一种结构作为主成分的聚合物；(b)醌二叠氮化合物；(c)具有苯乙烯基的硅烷偶联剂；(d)具有烷氧基甲硅烷基和选自环氧基、氧杂环丁基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、酰胺基、巯基中的基团的硅烷偶联剂及(e)溶剂。
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公开(公告)号：CN102292675A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005046.2
申请日：2010-12-07
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: C08L79/08 , C08G73/10 , C08K5/29 , C08K5/5425 , C08K5/5435 , C08L63/00 , G03F7/0233 , G03F7/0751
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物的保存稳定性、特别是灵敏度稳定性优异，能够得到在350℃以上的高温加热处理后、或在空气中的加热处理后与基板的密合性优异的固化膜。所述正型感光性树脂组合物含有：(a)以选自聚酰亚胺前体结构、聚苯并噁唑前体结构、及聚酰亚胺结构中的至少一种结构作为主成分的聚合物；(b)醌二叠氮化合物；(c)具有苯乙烯基的硅烷偶联剂；(d)具有烷氧基甲硅烷基和选自环氧基、氧杂环丁基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、酰胺基、巯基中的基团的硅烷偶联剂及(e)溶剂。
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公开(公告)号：CN101213491B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200680024028.2
申请日：2006-04-18
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0751 , C08K5/0025 , C08K5/544 , G03F7/0045 , G03F7/0226 , G03F7/0755 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/115 , Y10S430/117
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物，其含有(a)碱可溶性树脂、(b)具有芳香族仲氨基和烷氧基的硅化合物、以及(c)选自光聚合引发剂、光酸发生剂和光碱发生剂中的至少1种。根据本发明，可以得到不损害溶液的保存稳定性、显著提高固化后的与基板的粘合性的同时，显影时不剥离微细图案的感光性树脂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1577088A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410062424.7
申请日：2004-07-07
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0045 , G03F7/0751
Abstract: 本发明涉及曝光后放置稳定性优异的、可碱显影的正型感光性树脂前体组合物。此外，本发明为一种感光性树脂前体组合物，其特征为包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物。式中R1表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种。n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数。其中p+q＞0。
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公开(公告)号：CN1310809A
公开(公告)日：2001-08-29
申请号：CN00800643.1
申请日：2000-05-30
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物,其特征在于,含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物,且满足下述条件(a)或(b)。(a)含有偶极矩在0.1德拜以上、1.6德拜以下的至少1个酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸的酯；(b)含有通式(8)所示的酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸和/或通式(8)所示的酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸的酯，(通式(1)中,R1表示至少具有2个以上碳原子的2价～8价有机基团,R2表示具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团,R3表示氢或碳原子数1～10的有机基团。n为10～100000的整数,m为0～2的整数,p、q为0～4的整数。p与q不能同时为0。)(式(8)中,R23、R24、R26、R27表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、烷氧基、羧基、酯基的任一种。R25至少有1个含有羟基,其他为氢原子、碳原子数1～8的烷基。aa、bb、cc为0～3的整数。其中,aa+bb≤5,bb+dd≤5、aa+bb>0。ee表示1～3的整数。)
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公开(公告)号：CN1971418B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200610114895.7
申请日：2000-05-30
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物，其特征在于，含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物，且满足条件(b)相对于100重量份的聚合物，含有通式(8)所示的酚化合物1～50重量份与萘醌二叠氮基磺酸酯1～50重量份。通式(1)通式(8)
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公开(公告)号：CN101611350B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200880004802.2
申请日：2008-02-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08F290/06 , C08F299/02 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/004 , G03F7/022 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供使用酚醛清漆树脂、具有良好的机械特性、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。通式(1)～(2)中，R1和R2分别可以相同或不同，表示碳原子数为2以上的2价～8价有机基团。R3和R4分别可以相同或不同，表示氢或碳原子数为1～20的1价有机基团。通式(1)的-NH-R5和通式(2)的-CO-R6表示聚合物的末端基团，R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2～30的1价有机基团。n表示10～100,000的范围，l和m表示0～2的整数，p和q表示0～4的整数。其中p+q＞0。
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公开(公告)号：CN1577088B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200410062424.7
申请日：2004-07-07
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0045 , G03F7/0751
Abstract: 本发明涉及曝光后放置稳定性优异的、可碱显影的正型感光性树脂前体组合物。此外，本发明为一种感光性树脂前体组合物，其特征为包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物。式中R1表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种。n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数。其中p+q＞0。
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