公开(公告)号：CN105051252B

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201480015410.1

申请日：2014-03-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 坂本桂太郎 ,  藤内俊平 ,  江尻广惠 ,  野村文保

IPC: C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/509 ,  B05D1/62 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/50 ,  C23C16/54 ,  C23C16/545 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32825 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/3321

Abstract: 本发明是一种等离子体CVD装置，其包括：真空容器、和在真空容器内的等离子体CVD电极单元和基材保持机构，所述等离子体CVD电极单元包括：阳极；阴极，其与所述阳极隔开间隔地对置；第一气体供给喷嘴，其以气体通过所述阳极和阴极之间的等离子体生成空间的方式供给气体，基材保持机构配置于通过等离子体生成空间后的气体所触碰的位置，阳极在气体供给方向上的长度及阴极在气体供给方向上的长度均比阳极和阴极之间的距离长。根据本发明，提供一种能提高气体的分解效率、实现高成膜速度的等离子体CVD装置。

公开(公告)号：CN115103759B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202180014152.5

申请日：2021-01-29

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 山下裕介 ,  藤内俊平 ,  金杉和弥

IPC: B29C65/00

Abstract: 本发明提供不会使树脂构件的光学特性恶化、机械强度降低的具有牢固接合力的无粘接剂的树脂接合体的制造装置及树脂接合体的制造方法。本发明的树脂接合体的制造装置为制造2个以上的树脂构件接合而成的树脂接合体的装置，具备：表面处理机构和接合机构。表面处理机构具有生成电离气体的电极单元、和保持树脂构件的构件保持机构，构件保持机构配置于相对于电极单元隔开空间的位置，表面处理机构通过电极单元生成的电离气体使构件保持机构所保持的树脂构件的待接合的面活化。接合机构将对置的待接合的面中的至少一个待接合的面被表面处理机构活化后的2个以上的树脂构件以各自的待接合的面进行贴合。

公开(公告)号：CN105051252A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201480015410.1

申请日：2014-03-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 坂本桂太郎 ,  藤内俊平 ,  江尻广惠 ,  野村文保

IPC: C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/509 ,  B05D1/62 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/50 ,  C23C16/54 ,  C23C16/545 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32825 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/3321

Abstract: 本发明是一种等离子体CVD装置，其包括：真空容器、和在真空容器内的等离子体CVD电极单元和基材保持机构，所述等离子体CVD电极单元包括：阳极；阴极，其与所述阳极隔开间隔地对置；第一气体供给喷嘴，其以气体通过所述阳极和阴极之间的等离子体生成空间的方式供给气体，基材保持机构配置于通过等离子体生成空间后的气体所触碰的位置，阳极在气体供给方向上的长度及阴极在气体供给方向上的长度均比阳极和阴极之间的距离长。根据本发明，提供一种能提高气体的分解效率、实现高成膜速度的等离子体CVD装置。

公开(公告)号：CN115103759A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202180014152.5

申请日：2021-01-29

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 山下裕介 ,  藤内俊平 ,  金杉和弥

IPC: B29C65/00

Abstract: 本发明提供不会使树脂构件的光学特性恶化、机械强度降低的具有牢固接合力的无粘接剂的树脂接合体的制造装置及树脂接合体的制造方法。本发明的树脂接合体的制造装置为制造2个以上的树脂构件接合而成的树脂接合体的装置，具备：表面处理机构和接合机构。表面处理机构具有生成电离气体的电极单元、和保持树脂构件的构件保持机构，构件保持机构配置于相对于电极单元隔开空间的位置，表面处理机构通过电极单元生成的电离气体使构件保持机构所保持的树脂构件的待接合的面活化。接合机构将对置的待接合的面中的至少一个待接合的面被表面处理机构活化后的2个以上的树脂构件以各自的待接合的面进行贴合。