公开(公告)号：CN105814464B

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201480066118.2

申请日：2014-12-04

申请人： 业纳光学系统有限公司

发明人： 赫尔穆特·贝尼茨基 ,  米切尔·克劳斯 ,  斯文·劳克斯 ,  乌维·舒曼

IPC分类号： G02B5/30

摘要： 本发明涉及一种偏振系统(1)，包括以下特征：‑由第一基板材料构成的第一基板(3)，该第一基板其上应用有第一层系统(3a)并被安置在由光束源形成的光束路径(2)的下游，由第二基板材料构成的至少一个第二基板(4)，该至少一个第二基板其上应用有第二层系统(4a)；‑其中，该第一和第二层系统包括应用于该基板上的第一叠层(3b，4b)以及应用于该第一叠层上的第二叠层(3c，4c)；‑其中，该第一叠层包括交替的高和低折射率氧化层序列；‑其中，该第二叠层包括交替的高和低折射率氟化层序列；‑其中，该第一层系统(3a)将未偏振光束(2a)分离成第一分量(2d)和至少一个第二分量(2e)，该未偏振光束形成该光束路径(2)并以大于所使用的该基板材料的布鲁斯特角的角度Φ撞击在该层系统(3a)上，该第一分量大部分被偏振并透射通过该基板，该至少一个第二分量大部分被偏振并在该层系统(3a)被反射；‑其中，该第一层系统(3a)在其氧化层和氟化层的数量方面被设计的方式为使得被反射和被偏振的第二分量(2e)的比例至少为90％；‑其中，该第二层系统(4a)将光束分离成第一分量(2d)和至少一个第二分量(2e)，该光束形成该光束路径、具有比例为至少90％的被偏振的大部分第二分量(2e)并撞击在该层系统上，该第一分量大部分被偏振并透射通过该基板，该至少一个第二分量大部分被偏振并在该层系统(4a)被反射，其中，在该第二层系统的下游被偏振的大部分第二分量的比例大于该第一层系统的下游。

公开(公告)号：CN105814464A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480066118.2

申请日：2014-12-04

申请人： 业纳光学系统有限公司

发明人： 赫尔穆特·贝尼茨基 ,  米切尔·克劳斯 ,  斯文·劳克斯 ,  乌维·舒曼

IPC分类号： G02B5/30

CPC分类号： G02B5/3075 ,  G02B1/08 ,  G02B5/3041 ,  G02B5/3066 ,  G02B27/283

摘要： 本发明涉及一种偏振系统(1)，包括以下特征：?由第一基板材料构成的第一基板(3)，该第一基板其上应用有第一层系统(3a)并被安置在由光束源形成的光束路径(2)的下游，由第二基板材料构成的至少一个第二基板(4)，该至少一个第二基板其上应用有第二层系统(4a)；?其中，该第一和第二层系统包括应用于该基板上的第一叠层(3b，4b)以及应用于该第一叠层上的第二叠层(3c，4c)；?其中，该第一叠层包括交替的高和低折射率氧化层序列；?其中，该第二叠层包括交替的高和低折射率氟化层序列；?其中，该第一层系统(3a)将未偏振光束(2a)分离成第一分量(2d)和至少一个第二分量(2e)，该未偏振光束形成该光束路径(2)并以大于所使用的该基板材料的布鲁斯特角的角度Φ撞击在该层系统(3a)上，该第一分量大部分被偏振并透射通过该基板，该至少一个第二分量大部分被偏振并在该层系统(3a)被反射；?其中，该第一层系统(3a)在其氧化层和氟化层的数量方面被设计的方式为使得被反射和被偏振的第二分量(2e)的比例至少为90％；?其中，该第二层系统(4a)将光束分离成第一分量(2d)和至少一个第二分量(2e)，该光束形成该光束路径、具有比例为至少90％的被偏振的大部分第二分量(2e)并撞击在该层系统上，该第一分量大部分被偏振并透射通过该基板，该至少一个第二分量大部分被偏振并在该层系统(4a)被反射，其中，在该第二层系统的下游被偏振的大部分第二分量的比例大于该第一层系统的下游。