发明公开
- 专利标题: 偏振系统
- 专利标题(英): Polarization system
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申请号: CN201480066118.2申请日: 2014-12-04
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公开(公告)号: CN105814464A公开(公告)日: 2016-07-27
- 发明人: 赫尔穆特·贝尼茨基 , 米切尔·克劳斯 , 斯文·劳克斯 , 乌维·舒曼
- 申请人: 业纳光学系统有限公司
- 申请人地址: 德国耶拿市07745高茨维策大街25号
- 专利权人: 业纳光学系统有限公司
- 当前专利权人: 业纳光学系统有限公司
- 当前专利权人地址: 德国耶拿市07745高茨维策大街25号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 邓琪
- 优先权: 102013020353.8 2013.12.05 DE
- 国际申请: PCT/EP2014/003233 2014.12.04
- 国际公布: WO2015/082070 DE 2015.06.11
- 进入国家日期: 2016-06-03
- 主分类号: G02B5/30
- IPC分类号: G02B5/30
摘要:
本发明涉及一种偏振系统(1),包括以下特征:?由第一基板材料构成的第一基板(3),该第一基板其上应用有第一层系统(3a)并被安置在由光束源形成的光束路径(2)的下游,由第二基板材料构成的至少一个第二基板(4),该至少一个第二基板其上应用有第二层系统(4a);?其中,该第一和第二层系统包括应用于该基板上的第一叠层(3b,4b)以及应用于该第一叠层上的第二叠层(3c,4c);?其中,该第一叠层包括交替的高和低折射率氧化层序列;?其中,该第二叠层包括交替的高和低折射率氟化层序列;?其中,该第一层系统(3a)将未偏振光束(2a)分离成第一分量(2d)和至少一个第二分量(2e),该未偏振光束形成该光束路径(2)并以大于所使用的该基板材料的布鲁斯特角的角度Φ撞击在该层系统(3a)上,该第一分量大部分被偏振并透射通过该基板,该至少一个第二分量大部分被偏振并在该层系统(3a)被反射;?其中,该第一层系统(3a)在其氧化层和氟化层的数量方面被设计的方式为使得被反射和被偏振的第二分量(2e)的比例至少为90%;?其中,该第二层系统(4a)将光束分离成第一分量(2d)和至少一个第二分量(2e),该光束形成该光束路径、具有比例为至少90%的被偏振的大部分第二分量(2e)并撞击在该层系统上,该第一分量大部分被偏振并透射通过该基板,该至少一个第二分量大部分被偏振并在该层系统(4a)被反射,其中,在该第二层系统的下游被偏振的大部分第二分量的比例大于该第一层系统的下游。
公开/授权文献
- CN105814464B 偏振系统 公开/授权日:2019-01-15