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公开(公告)号:CN117308197A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202311264524.7
申请日:2023-09-27
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: F24F1/0035 , F24F7/08 , F24F11/74 , F24F7/003 , F24F13/02 , F24F11/84 , F24F11/46 , F24F140/50
Abstract: 本发明公开了一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统,包括洁净室、上技术夹层、下技术夹层;以及回风夹道;洁净室内布置有多组工艺设备,间隔布置的工艺设备的操作面相对设置,且间隔布置的工艺设备的操作面之间的空间为通道,该通道、以及对应的两台工艺设备和回风夹道之间形成为工艺bay温度控制区域;该系统还包括位于回风夹道内的新风管道,且新风管道的数量和布置位置与工艺bay温度控制区域匹配。本发明的系统可使新风送风均匀,且可根据工艺设备发热特性,对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配,达到提高房间温度控制精度和节能减排的目的。
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公开(公告)号:CN221279643U
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202322641387.6
申请日:2023-09-27
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统,包括洁净室、上技术夹层、下技术夹层;以及回风夹道;洁净室内布置有多组工艺设备,间隔布置的工艺设备的操作面相对设置,且间隔布置的工艺设备的操作面之间的空间为通道,该通道、以及对应的两台工艺设备和回风夹道之间形成为工艺bay温度控制区域;该系统还包括位于回风夹道内的新风管道,且新风管道的数量和布置位置与工艺bay温度控制区域匹配。本实用新型的系统可使新风送风均匀,且可根据工艺设备发热特性,对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配,达到提高房间温度控制精度和节能减排的目的。
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公开(公告)号:CN110285522A
公开(公告)日:2019-09-27
申请号:CN201910663309.1
申请日:2019-07-22
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本申请涉及工业生产领域,公开了一种利用工艺排风的通风系统,包括:用于给生产房间输送处理后的新风的新风机组;用于将生产房间内不可利用的工艺排风排出的排风机;用于将生产房间内可利用的工艺排风回收并输送回生产房间的工艺排风回用机组。本申请公开的利用工艺排风的通风系统,充分利用工艺排风,将可以直接使用的工艺排风送回房间以再次利用,减少了房间新风量,减少处理新风的冷热量,同时减少了新风机组的容量,节省了能源。
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公开(公告)号:CN110469160B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN201910740337.9
申请日:2019-08-12
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司 , 世源科技工程有限公司
Abstract: 本发明涉及洁净生产厂房技术领域,公开了一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房,该具有二次加湿系统的洁净室布置结构包括:至少一组二次加湿系统,每一组二次加湿系统包括:加湿装置,设于洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内;相对湿度传感器;与相对湿度传感器和加湿装置连接的湿度控制器,湿度控制器用于接收相对湿度传感器的湿度信号以根据湿度信号控制加湿装置工作。该具有二次加湿系统的洁净室布置结构中,在洁净室内设置有二次加湿系统,有效对室内空气进行二次加湿,增加洁净生产区的环境相对湿度,使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值,有利于保证良好的生产工序制造环境,提高产品良率。
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公开(公告)号:CN110439326A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910746267.8
申请日:2019-08-13
Applicant: 世源科技工程有限公司
Abstract: 本发明涉及生产厂房技术领域,公开了一种洁净室,包括由上到下依次设置的上技术夹层、洁净生产层、下技术夹层和回风夹道,其中,洁净生产层和下技术夹层之间通过支撑件和设置于支撑件上的活动地板分隔,活动地板由设置有开孔的活动板和未设置开孔的固定板拼接而成,活动地板包括由靠近回风夹道一侧向远离回风夹道一侧排列的多个子区域,各子区域内的活动板上设置有多个开孔,且每个子区域内的活动地板的的有效开孔率满足有效开孔率(N)计算公式;该洁净室的活动地板包括不同的子区域,且各子区域内的活动地板的有效开孔率满足有效开孔率(N)计算公式,从而实现了洁净生产层内的气流调节、且成本低。
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公开(公告)号:CN110439326B
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN201910746267.8
申请日:2019-08-13
Applicant: 世源科技工程有限公司
Abstract: 本发明涉及生产厂房技术领域,公开了一种洁净室,包括由上到下依次设置的上技术夹层、洁净生产层、下技术夹层和回风夹道,其中,洁净生产层和下技术夹层之间通过支撑件和设置于支撑件上的活动地板分隔,活动地板由设置有开孔的活动板和未设置开孔的固定板拼接而成,活动地板包括由靠近回风夹道一侧向远离回风夹道一侧排列的多个子区域,各子区域内的活动板上设置有多个开孔,且每个子区域内的活动地板的的有效开孔率满足有效开孔率(N)计算公式;该洁净室的活动地板包括不同的子区域,且各子区域内的活动地板的有效开孔率满足有效开孔率(N)计算公式,从而实现了洁净生产层内的气流调节、且成本低。
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公开(公告)号:CN111780256A
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN202010736551.X
申请日:2020-07-28
Applicant: 世源科技工程有限公司
IPC: F24F1/0063 , F24F1/0073 , F24F11/89 , F24F11/84
Abstract: 本发明公开了一种用于洁净室的净化空调系统,包括第一夹层空间、过滤装置以及冷却盘管装置,第一夹层空间设置在洁净室外,第一夹层空间为内部具有容纳空间的箱式结构,第一夹层空间与洁净室的进风口连通,洁净室的出风口通过设置在洁净室外的回风夹道与第一夹层空间连通,第一夹层空间通过回风夹道与洁净室建立空气循环回路;过滤装置设置在洁净室的进风口;冷却盘管装置设置于空气循环回路的空气流经路径上,冷却盘管装置位于第一夹层空间内或者回风夹道内,冷却盘管装置内部具有冷媒流通。本发明的用于洁净室的净化空调系统,能耗低,空间占用小,温湿度和洁净度控制精度高,使用效果理想,能够适用于高精度恒温恒湿超净洁净室。
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公开(公告)号:CN110440356A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910729359.5
申请日:2019-08-08
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本发明涉及空调技术领域,公开了一种净化空调系统,该净化空调系统包括:用于向上技术夹层或回风夹道内提供新风的新风处理机组MAU;位于上技术夹层或回风夹道内、用于调节空气温度的空调设备,空调设备包括加热段和冷却段且加热段和冷却段单独可控;用于将上技术夹层内的空气净化加压后送入洁净室的风机过滤器机组FFU;用于控制新风处理机组MAU、空调设备和风机过滤器机组FFU以调节室内的温湿度和洁净度等级的全自动控制系统;该净化空调系统可调节室内的温湿度和洁净度等级,且可以根据需求在加热和冷却间切换并调节到适宜的温湿度。
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公开(公告)号:CN110439332A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910736090.3
申请日:2019-08-09
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本申请涉及洁净厂房技术领域,公开了一种洁净室,包括调压设备组件用于调节上技术夹层双墙夹道内气压,以使洁净室正常生产时使上技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源上技术夹层和无污染源上技术夹层内的气压;和/或;调压设备组件用于调节下技术夹层双墙夹道内气压,使洁净室正常生产时使下技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压,或,使洁净室正常生产时使下技术夹层双墙夹道内的气压低于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压。本申请公开的洁净室,可以降低或避免带污染源生产区产生的污染物进入到无污染源生产区中,以提高无污染源生产区中产品的良率。
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公开(公告)号:CN110439332B
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN201910736090.3
申请日:2019-08-09
Applicant: 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本申请涉及洁净厂房技术领域,公开了一种洁净室,包括调压设备组件用于调节上技术夹层双墙夹道内气压,以使洁净室正常生产时使上技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源上技术夹层和无污染源上技术夹层内的气压;和/或;调压设备组件用于调节下技术夹层双墙夹道内气压,使洁净室正常生产时使下技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压,或,使洁净室正常生产时使下技术夹层双墙夹道内的气压低于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压。本申请公开的洁净室,可以降低或避免带污染源生产区产生的污染物进入到无污染源生产区中,以提高无污染源生产区中产品的良率。
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