供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法

    公开(公告)号:CN106335004A

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201610531125.6

    申请日:2016-07-07

    Abstract: 本发明涉及供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法,以便提供能够均匀修整研磨垫的修整装置的修整方法。修整装置包括第一修整磨石(51)和第二修整磨石(52),它们通过在抵靠在对应的研磨垫(17)和(18)上的同时沿上研磨板(12)和下研磨板(14)的径向移动来磨削研磨垫(17)和(18),其中,第一修整磨石(51)和第二修整磨石(52)被设置为具有:内侧区域部(P);外侧区域部(Q);以及中间区域部(R),其中,内侧区域部(P)和外侧区域部(Q)中的每一个沿研磨板(12)和(14)的周向延伸的长度比中间区域部(R)沿研磨板的周向延伸的长度长。

    供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法

    公开(公告)号:CN106335004B

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201610531125.6

    申请日:2016-07-07

    Abstract: 本发明涉及供双面研磨装置的研磨垫用的修整装置和修整方法,以便提供能够均匀修整研磨垫的修整装置的修整方法。修整装置包括第一修整磨石(51)和第二修整磨石(52),它们通过在抵靠在对应的研磨垫(17)和(18)上的同时沿上研磨板(12)和下研磨板(14)的径向移动来磨削研磨垫(17)和(18),其中,第一修整磨石(51)和第二修整磨石(52)被设置为具有:内侧区域部(P);外侧区域部(Q);以及中间区域部(R),其中,内侧区域部(P)和外侧区域部(Q)中的每一个沿研磨板(12)和(14)的周向延伸的长度比中间区域部(R)沿研磨板的周向延伸的长度长。

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