公开(公告)号：CN106011746B

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201610539208.X

申请日：2016-07-11

Applicant: 上海航天设备制造总厂

Inventor： 苏达 ,  郭立杰 ,  杨洋 ,  刘明芳 ,  黄鹰 ,  刘斯琪

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/24 ,  C23C14/35

公开(公告)号：CN106011746A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610539208.X

申请日：2016-07-11

Applicant: 上海航天设备制造总厂

Inventor： 苏达 ,  郭立杰 ,  杨洋 ,  刘明芳 ,  黄鹰 ,  刘斯琪

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/24 ,  C23C14/35

CPC classification number: C23C14/352 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0694 ,  C23C14/083 ,  C23C14/10 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的用于卫星太阳电池阵的激光防护薄膜，由复合激光防护层和增透层组成，在卫星太阳电池片的抗辐射非晶石英玻璃盖片表面依次采用双靶共溅射工艺制备二氧化硅和纳米二氧化钒作为复合激光防护层，采用蒸镀工艺制备氟化镁作为增透层。本发明激光防护薄膜在常态下的可见光透过率约为60%，红外波段透过率为65%～80%，分别采用532nm、1.06um、3.3um三个波段激光照射后，激光透过率下降为16%，可以将卫星太阳电池片的损伤阈值提高3～4倍，适用于卫星太阳电池阵的激光防护领域。