流道分配式气体分配器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117703702A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311816686.7

    申请日:2023-12-26

    Abstract: 本发明提供了一种流道分配式气体分配器,包括气体管道与环形的分配器本体,分配器本体内部分布有气体流道,气体流道包括依次连通的气路入口流道、中间树状流道以及多个气体排放部,气体管道与气路入口流道相连通;中间树状流道为弧形,并沿周向设置在分配器本体内,能够将气体工质分为多路输送至多个气体排放部,多个气体排放部均沿分配器本体的径向延伸,且沿分配器本体的周向均匀分布。本发明通过中间树状流道代替层板均流腔与排气小孔组成的缓冲均流结构,用于将单点集中供应的气体工质分流均化排放至放电腔道内,实现均化排出,同时避免了壅塞导致的输出面流速增加现象,又实现了对气体的均化分流功能,且空间利用率高。

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