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公开(公告)号：CN119828416A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202510248177.1
申请日：2025-03-04
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明属于光刻胶材料技术领域，特别是涉及一种杂化光刻胶的气相渗透原位合成方法。所述杂化光刻胶的气相渗透原位合成方法，包括如下步骤：将旋涂了光刻胶的硅基底置于沉积设备中进行预热，然后依次通入金属前驱体、惰性气体、去离子水和惰性气体进行气相渗透循环，使光刻胶内部生成金属纳米颗粒，得到杂化光刻胶。本发明通过在曝光显影后，在带图案化光刻胶的硅基底上进行气相渗透金属氧化物，实现增强光刻胶材料抗刻蚀性能的同时避免掺杂物对曝光过程产生影响的目的。
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公开(公告)号：CN114388723B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011119352.0
申请日：2020-10-19
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明涉及能源材料技术领域，特别是涉及一种正极表面改性材料及其制备方法。所述正极表面改性材料包括依次叠加的正极材料部、掺杂层和包覆层；所述正极材料部包括正极材料；所述掺杂层包括正极材料和掺杂于正极材料中的掺杂元素。本发明将部分化学惰性层转化为表面掺杂，有利于加速锂离子在界面处的迁移。因此，包覆和掺杂的协同效应可以同时大幅提高三元材料的循环稳定性和倍率性能。
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公开(公告)号：CN114388723A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202011119352.0
申请日：2020-10-19
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明涉及能源材料技术领域，特别是涉及一种正极表面改性材料及其制备方法。所述正极表面改性材料包括依次叠加的正极材料部、掺杂层和包覆层；所述正极材料部包括正极材料；所述掺杂层包括正极材料和掺杂于正极材料中的掺杂元素。本发明将部分化学惰性层转化为表面掺杂，有利于加速锂离子在界面处的迁移。因此，包覆和掺杂的协同效应可以同时大幅提高三元材料的循环稳定性和倍率性能。
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公开(公告)号：CN113193227B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202110451326.6
申请日：2021-04-26
Applicant: 上海科技大学
IPC: H01M10/0565 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开了一种通过气相渗透法改性的固态电解质聚合物的制备方法及其应用。本发明的制备方法为：将固态电解质聚合物置于沉积设备的反应腔中的样品桶内，在搅拌下进行预热，然后交替通入气相化学前驱体源和惰性气体进行气相渗透循环，使聚合物内部生长出均匀的纳米填料，从而得到改性的固态电解质聚合物。本发明将填料以气相渗透法直接生长在聚合物的内部，相比于物理混合，填料的尺寸更小，和聚合物之间具有较强的化学相互作用，增加了填料分散的均匀性，可以更好地提高电解质的离子导电性和锂离子迁移数；此外，小粒径和均匀分散的填料可以存在于固态电解质膜的表面，通过和锂金属形成合金降低对锂的界面电阻。
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公开(公告)号：CN113193227A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110451326.6
申请日：2021-04-26
Applicant: 上海科技大学
IPC: H01M10/0565 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开了一种通过气相渗透法改性的固态电解质聚合物的制备方法及其应用。本发明的制备方法为：将固态电解质聚合物置于沉积设备的反应腔中的样品桶内，在搅拌下进行预热，然后交替通入气相化学前驱体源和惰性气体进行气相渗透循环，使聚合物内部生长出均匀的纳米填料，从而得到改性的固态电解质聚合物。本发明将填料以气相渗透法直接生长在聚合物的内部，相比于物理混合，填料的尺寸更小，和聚合物之间具有较强的化学相互作用，增加了填料分散的均匀性，可以更好地提高电解质的离子导电性和锂离子迁移数；此外，小粒径和均匀分散的填料可以存在于固态电解质膜的表面，通过和锂金属形成合金降低对锂的界面电阻。
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