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公开(公告)号：CN114485473A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210157836.7
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海电机学院
Abstract: 本发明提供一种基于组分合成和梯度投影的激光干涉相位解调方法，包括步骤：S1：干涉条纹振动矢量补偿步骤，通过两个视频流态中的条纹位移矢量计算，反向补偿振动矢量，实现干涉条纹偏移修正；S2：像元振动多组分合成抗振步骤，基于灰度匹配预处理和多组分合成算法对残余振动误差补偿，进而获得消除振动误差的干涉图像；S3：灰度投影相位解调步骤，通过梯度投影算法去除所述干涉图像背景光强，并通过反正切运算完成相位提取，实现待测元件波前相位信息重构。本发明的一种基于组分合成和梯度投影的激光干涉相位解调方法，能够在振动环境下，快速、准确的实现相位提取，实现光学元件面形轮廓检测。
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公开(公告)号：CN114526691B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202210166242.2
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01B11/25 , G01B9/02055 , G01B9/02097 , G01J9/02
Abstract: 本发明提供一种面向液晶空间光调制器的栅式双像元相位解调方法，包括步骤：S1：栅式双像元相位调制步骤，通过液晶空间光调制器来实现波前相位在垂直方向上的栅式相位调制和水平方向上的双像元波前相位调制；S2：相位插值复原步骤，利用采样灰度信息的噪声滤除、平滑处理和样条插值拟合实现光强图像的全域和准确复原；S3：梯度投影相位解调步骤，利用梯度投影算法去除干涉图像背景光强，并通过反正切运算实现相位提取，实现待测元件波前相位信息重构。本发明的一种面向液晶空间光调制器的栅式双像元相位解调方法，可实现液晶空间光调制器相位调制误差的有效控制，获取准确的相位分布信息，可基于液晶空间光调制器实现准确的空间相位提取。
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公开(公告)号：CN115683364A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211328307.5
申请日：2022-10-26
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋光相位调制的螺旋式移相干涉测量方法及其系统，解决了现存干涉测量成本高、过程复杂、测量精度低的问题，其技术方案要点是包括有以下步骤：启动干涉仪并进行系统校正；选择并安装标准镜，对参考光路中的涡旋光进行极轴变换，完成移相干涉，获得涡旋光初始相位分布信息；更换标准镜为测试镜，同样对参考光路中的涡旋光进行极轴变换，完成移相干涉，获得涡旋光测试相位分布信息；通过初始相位分布信息与测试相位分布信息差值运算，完成测试镜波前相位提取，获得测试镜面形分布信息，本发明的基于涡旋光相位调制的螺旋式移相干涉测量方法，能提高检测精度和鲁棒性，实现更高的相位调制分辨率和测量精度。
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公开(公告)号：CN114518074A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202210157842.2
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提供一种动态环境三维形变检测数字散斑干涉系统及检测方法，其中系统包括一双激光光源、一双通道数字剪切散斑干涉系统、一单通道数字散斑干涉系统、一数据采集系统、一机械加载装置和一计算机，计算机根据频谱差异特性，分别计算数据采集系统的图像传感器采集到的两个剪切散斑图和一个散斑干涉图的相位分布，最后根据相位分布的数据，采用基准共用和积分运算，完成三维形变信息的重构和解析运算。本发明的一种动态环境三维形变检测数字散斑干涉系统及检测方法，将DSPI与DSSPI技术结合，实现了动态环境下的三维形变同步、实时、在线测量，并且在大大降低系统成本，避免了多通道数据校准问题，简化了测量过程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114526691A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210166242.2
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01B11/25 , G01B9/02055 , G01B9/02097 , G01J9/02
Abstract: 本发明提供一种面向液晶空间光调制器的栅式双像元相位解调方法，包括步骤：S1：栅式双像元相位调制步骤，通过液晶空间光调制器来实现波前相位在垂直方向上的栅式相位调制和水平方向上的双像元波前相位调制；S2：相位插值复原步骤，利用采样灰度信息的噪声滤除、平滑处理和样条插值拟合实现光强图像的全域和准确复原；S3：梯度投影相位解调步骤，利用梯度投影算法去除干涉图像背景光强，并通过反正切运算实现相位提取，实现待测元件波前相位信息重构。本发明的一种面向液晶空间光调制器的栅式双像元相位解调方法，可实现液晶空间光调制器相位调制误差的有效控制，获取准确的相位分布信息，可基于液晶空间光调制器实现准确的空间相位提取。
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公开(公告)号：CN114485473B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210157836.7
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海电机学院
Abstract: 本发明提供一种基于组分合成和梯度投影的激光干涉相位解调方法，包括步骤：S1：干涉条纹振动矢量补偿步骤，通过两个视频流态中的条纹位移矢量计算，反向补偿振动矢量，实现干涉条纹偏移修正；S2：像元振动多组分合成抗振步骤，基于灰度匹配预处理和多组分合成算法对残余振动误差补偿，进而获得消除振动误差的干涉图像；S3：灰度投影相位解调步骤，通过梯度投影算法去除所述干涉图像背景光强，并通过反正切运算完成相位提取，实现待测元件波前相位信息重构。本发明的一种基于组分合成和梯度投影的激光干涉相位解调方法，能够在振动环境下，快速、准确的实现相位提取，实现光学元件面形轮廓检测。
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公开(公告)号：CN114812431B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202210241232.0
申请日：2022-03-11
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，系统包括：激光光源系统、相位调制系统、图像采集系统、计算机控制系统、非偏振分束器和光学衰减片；激光光源系统包括固体激光器、可旋转偏振镜和准直扩束镜；相位调制系统包括带通滤光片和液晶空间光调制器；图像采集系统包括成像透镜和CCD图像采集装置；固体激光器、可旋转偏振镜、准直扩束镜、非偏振分束器、带通滤光片和液晶空间光调制器依次排布；检测试件、光学衰减片、非偏振分束器、成像透镜和CCD图像采集装置依次排布。本发明的一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，整体系统鲁棒性强、相位调制过程响应迅速、检测装置灵敏度高。
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公开(公告)号：CN114812432A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210301356.3
申请日：2022-03-25
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种应用于激光干涉形貌检测的快速相位获取系统及方法，所述系统包括激光光源单元、相位调制单元、图像采集单元以及计算机控制端，所述激光光源单元包括固体激光器、旋转偏振镜、准直扩束镜及非偏振分束器；所述相位调制单元包括液晶空间光调制器；所述图像采集单元包括成像透镜和CCD图像采集装置，在测量过程中，通过液晶空间光调制器实现参考光束相位调制，并与通过检测试件的测试光束产生干涉图像序列，进而解析出相位信息，获得检测试件的表面形貌。本发明的系统鲁棒性强、相位调制响应迅速、系统整体检测灵敏度高，并且系统光路搭建简单，检测过程准确便捷。
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公开(公告)号：CN114812431A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210241232.0
申请日：2022-03-11
Applicant: 上海电机学院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，系统包括：激光光源系统、相位调制系统、图像采集系统、计算机控制系统、非偏振分束器和光学衰减片；激光光源系统包括固体激光器、可旋转偏振镜和准直扩束镜；相位调制系统包括带通滤光片和液晶空间光调制器；图像采集系统包括成像透镜和CCD图像采集装置；固体激光器、可旋转偏振镜、准直扩束镜、非偏振分束器、带通滤光片和液晶空间光调制器依次排布；检测试件、光学衰减片、非偏振分束器、成像透镜和CCD图像采集装置依次排布。本发明的一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，整体系统鲁棒性强、相位调制过程响应迅速、检测装置灵敏度高。
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