公开(公告)号：CN114812431B

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202210241232.0

申请日：2022-03-11

Applicant: 上海电机学院

Inventor： 李志松 ,  陈宇 ,  朱景峰 ,  张博 ,  胡红磊 ,  徐潇 ,  胡晓莉

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，系统包括：激光光源系统、相位调制系统、图像采集系统、计算机控制系统、非偏振分束器和光学衰减片；激光光源系统包括固体激光器、可旋转偏振镜和准直扩束镜；相位调制系统包括带通滤光片和液晶空间光调制器；图像采集系统包括成像透镜和CCD图像采集装置；固体激光器、可旋转偏振镜、准直扩束镜、非偏振分束器、带通滤光片和液晶空间光调制器依次排布；检测试件、光学衰减片、非偏振分束器、成像透镜和CCD图像采集装置依次排布。本发明的一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，整体系统鲁棒性强、相位调制过程响应迅速、检测装置灵敏度高。

公开(公告)号：CN114812432A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210301356.3

申请日：2022-03-25

Applicant: 上海电机学院

Inventor： 李志松 ,  陈宇 ,  朱景峰 ,  张博 ,  胡红磊 ,  徐潇 ,  胡晓莉

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供了一种应用于激光干涉形貌检测的快速相位获取系统及方法，所述系统包括激光光源单元、相位调制单元、图像采集单元以及计算机控制端，所述激光光源单元包括固体激光器、旋转偏振镜、准直扩束镜及非偏振分束器；所述相位调制单元包括液晶空间光调制器；所述图像采集单元包括成像透镜和CCD图像采集装置，在测量过程中，通过液晶空间光调制器实现参考光束相位调制，并与通过检测试件的测试光束产生干涉图像序列，进而解析出相位信息，获得检测试件的表面形貌。本发明的系统鲁棒性强、相位调制响应迅速、系统整体检测灵敏度高，并且系统光路搭建简单，检测过程准确便捷。

公开(公告)号：CN114812431A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210241232.0

申请日：2022-03-11

Applicant: 上海电机学院

Inventor： 李志松 ,  陈宇 ,  朱景峰 ,  张博 ,  胡红磊 ,  徐潇 ,  胡晓莉

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，系统包括：激光光源系统、相位调制系统、图像采集系统、计算机控制系统、非偏振分束器和光学衰减片；激光光源系统包括固体激光器、可旋转偏振镜和准直扩束镜；相位调制系统包括带通滤光片和液晶空间光调制器；图像采集系统包括成像透镜和CCD图像采集装置；固体激光器、可旋转偏振镜、准直扩束镜、非偏振分束器、带通滤光片和液晶空间光调制器依次排布；检测试件、光学衰减片、非偏振分束器、成像透镜和CCD图像采集装置依次排布。本发明的一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，整体系统鲁棒性强、相位调制过程响应迅速、检测装置灵敏度高。