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公开(公告)号：CN104562123A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410854612.7
申请日：2014-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆电镀装置，其特征在于，包括：电镀槽；所述电镀槽设有容腔；所述容腔用于存放电镀液；晶圆输送装置；所述晶圆输送装置位于所述电镀槽的一侧，用于将晶圆输送至所述容腔内。本发明提供晶圆电镀装置，可对晶圆进行电镀处理，自动化程度大，生产效率高，生产稳定性好，大大提高了晶圆的电镀品质及良品率。
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公开(公告)号：CN102513302B
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201110457737.2
申请日：2011-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种喷淋清洗槽，包括槽体，所述槽体设置有容腔；其特征在于，还包括：第一支架，所述第一支架可移动地设置于容腔内；夹具，所述夹具用于夹持待洗工件，夹具可转动地设置于第一支架上；喷淋管，所述喷淋管设置有朝向待洗工件的喷液口。本发明中的喷淋清洗槽可利用夹具夹持待洗工件旋转，而且夹具和喷淋管可分别独立地相对运动，喷淋水可清洗待洗工件的各个位置。本发明一次可夹持两个待洗工件清洗，工作效率高。而且，本发明使用时可先将待洗工件夹持在夹具上，再将夹具安装于转轴上，使用更方便。
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公开(公告)号：CN102543764A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110458223.9
申请日：2011-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/48
摘要： 本发明公开了一种可调整高度的引线框架处理装置，包括槽体及支架，所述支架设置于槽体上方，其特征在于，所述支架与槽体之间设置有可水平移动的支撑架；所述支撑架为矩形框，支撑架套装在槽体外围且可沿水平方向移动；所述支架与支撑架通过运动换向装置传动连接；所述运动换向装置将支撑架水平移动转化为支架的上下运动。本发明中的可调整高度的引线框架处理装置，可以调整引线框架浸入电镀液或浸洗液内的高度。一套装置可适用于多种尺寸规格的引线框架，功能多样，节省生产成本。而且本发明结构简单，利用减速电机驱动，使用方便。
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公开(公告)号：CN105514017B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201511032074.4
申请日：2015-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L23/495
摘要： 本发明公开了一种引线框架夹具。所述引线框架夹具包括接液槽及夹持机构。所述接液槽具有槽腔，所述接液槽的槽腔可盛装引线框架上滴落的化学处理液。所述夹持机构用于夹持引线框架并使引线框架位于所述槽腔上方。本发明提供的引线框架夹具，设置的接液槽能够完全接收引线框架上滴落的化学处理液，避免化学处理液滴落在气缸、导轨等结构而造成腐蚀，从而在实现夹持、中转功能的同时保护了机械设备、延长了使用寿命。
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公开(公告)号：CN108565227A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201711480931.6
申请日：2017-12-29
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673
摘要： 本发明公开了一种半导体加工设备。所述半导体加工设备包括支撑件、提篮及驱动装置。所述提篮设置在所述支撑件上，所述提篮相对于所述支撑件可转动地设置，用于支撑半导体元件。所述驱动装置设置在所述支撑件上，并驱动所述提篮可转动地设置。本发明半导体加工设备加工效率高、处理效果佳。
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公开(公告)号：CN104576478B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201410854534.0
申请日：2014-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种新型引线框架存储箱的输送装置，其特征在于，包括：存放装置，用于存放引线框架存储箱；所述存放装置包括支撑架；所述支撑架包括至少两个支撑平台；所述支撑平台用于支撑存储箱；至少一个所述支撑平台上设有传输带；所述传输带可转动地设置，用于将存储箱传输至指定位置；夹具；所述夹具用于夹取所述存储箱；第一驱动装置或第二驱动装置；所述第一驱动装置驱动所述夹具或通过第一传动装置驱动所述夹具做升降运动；第二驱动装置；所述第二驱动装置驱动所述夹具或通过第二传动装置驱动所述夹具水平移动，靠近及远离存储箱。本发明利用自动化操作，可进一步提高引线框架处理速度，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN106737295A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611265990.7
申请日：2016-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种针式零件生产用夹具，其包括零件固定机构、支撑机构及抵压机构和弹性复位装置。所述零件固定机构用于固定针式零件；所述支撑机构与抵压机构用于共同夹持所述零件固定机构；所述支撑机构与所述抵压机构可相对运动地设置；所述弹性复位装置与所述支撑机构或/和所述抵压机构连接，所述支撑机构与所述抵压机构相对运动时使所述弹性复位装置变形引起其弹性变形力变化，所述变化了的弹性变形力具有使所述支撑机构和/或所述抵压机构复位的趋势。本发明结构简单，易于生产。弹性复位装置采用拉伸弹簧，易于安装，结构简单且成本低。设置护板，可防止零件固定机构从支撑座上滑落，使用更安全。
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公开(公告)号：CN106601659A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611265559.2
申请日：2016-12-30
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67763 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种新型晶圆转移装置，其包括支撑平台、托盘、第一机械臂和第二机械臂；所述支撑平台设置有通孔；所述托盘可升降地设置，所述托盘可自所述通孔穿过所述支撑平台地设置；所述第一机械臂与所述第二机械臂相用于共同夹持晶圆；所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置；所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑平台上方。本发明利用托盘的升降取放晶圆，自动化程度高，可代替人工转移晶圆，劳动强度小且效率高，可适应大规模生产的需要。
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公开(公告)号：CN104576478A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410854534.0
申请日：2014-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67706 , H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种新型引线框架存储箱的输送装置，其特征在于，包括：存放装置，用于存放引线框架存储箱；所述存放装置包括支撑架；所述支撑架包括至少两个支撑平台；所述支撑平台用于支撑存储箱；至少一个所述支撑平台上设有传输带；所述传输带可转动地设置，用于将存储箱传输至指定位置；夹具；所述夹具用于夹取所述存储箱；第一驱动装置或第二驱动装置；所述第一驱动装置驱动所述夹具或通过第一传动装置驱动所述夹具做升降运动；第二驱动装置；所述第二驱动装置驱动所述夹具或通过第二传动装置驱动所述夹具水平移动，靠近及远离存储箱。本发明利用自动化操作，可进一步提高引线框架处理速度，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN102543764B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201110458223.9
申请日：2011-12-31
申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
IPC分类号： H01L21/48
摘要： 本发明公开了一种可调整高度的引线框架处理装置，包括槽体及支架，所述支架设置于槽体上方，其特征在于，所述支架与槽体之间设置有可水平移动的支撑架；所述支撑架为矩形框，支撑架套装在槽体外围且可沿水平方向移动；所述支架与支撑架通过运动换向装置传动连接；所述运动换向装置将支撑架水平移动转化为支架的上下运动。本发明中的可调整高度的引线框架处理装置，可以调整引线框架浸入电镀液或浸洗液内的高度。一套装置可适用于多种尺寸规格的引线框架，功能多样，节省生产成本。而且本发明结构简单，利用减速电机驱动，使用方便。
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