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公开(公告)号：CN115407452A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110586775.1
申请日：2021-05-27
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本申请提供一种光混频器及其制造方法，光混频器包括：基底层；输入波导，其为条状，输入波导的输入端接收输入光；多模干涉波导，其为矩形，多模干涉波导的输入端与输入波导的输出端耦接，接收从输入波导传输的光，多模干涉波导对接收的光进行混频处理；输出波导，其为条状，设置于基底层，输出波导的输入端与多模干涉波导的输出端耦接，接收从多模干涉波导的输出端输出的混频光，输出波导对接收的混频光进行传输，并从输出波导的输出端输出；以及覆盖层，其覆盖输入波导、多模干涉波导以及输出波导各自的上表面和侧面，输入波导、多模干涉波导以及输出波导的材料均为氮化硅，该输入波导的数量为3个，该输出波导的数量为3个。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115407451A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110586090.7
申请日：2021-05-27
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本发明提供一种基于亚波长光栅波导结构的120度光混频器及制作方法，混频器包括一多模干涉区、连接于多模干涉区的输入端的三个输入波导以及连接于多模干涉区的输出端的三个输出波导，多模干涉区、输入波导及输出波导为亚波长光栅波导结构，其中，多模干涉区为光栅长度相等的亚波长光栅波导结构，输入波导为光栅长度逐渐增大的亚波长光栅波导结构，输出波导为光栅长度逐渐减小的亚波长光栅波导结构。本发明可在较小的多模干涉区的长度下在输出端口实现120度光混频操作。与传统的多模干涉耦合器结构相比，本发明采用亚波长光栅波导结构的光混频器可以有效减小器件尺寸、提高集成度，同时可以实现超大带宽、低相位偏差的光混频器。
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公开(公告)号：CN114726447A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202011529282.6
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: H04B10/548 , G02B6/12
Abstract: 本发明提供一种基于硅基氮化硅波导的90度光混频器，包括：衬底；二氧化硅层，位于衬底上；氮化硅波导层，位于二氧化硅层上；二氧化硅包层，包覆于氮化硅波导层上；其中，氮化硅波导层配置为包括信号光输入波导、本振光输入波导、多模干涉区及四个输出波导；信号光输入波导与多模干涉区耦合，用于接收信号光，多模干涉区激励出各阶模式，使信号光和本振光发生混频，形成输入光场的四个复制点，并分别引出至四个输出波导。本发明基于硅基氮化硅波导及多模干涉耦合器实现了低损耗、低相位偏差、高光学带宽的2×4型90度光混频器。
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公开(公告)号：CN214586093U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202121168609.1
申请日：2021-05-27
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本实用新型提供一种基于亚波长光栅波导结构的120度光混频器，混频器包括一多模干涉区、连接于多模干涉区的输入端的三个输入波导以及连接于多模干涉区的输出端的三个输出波导，多模干涉区、输入波导及输出波导为亚波长光栅波导结构，其中，多模干涉区为光栅长度相等的亚波长光栅波导结构，输入波导为光栅长度逐渐增大的亚波长光栅波导结构，输出波导为光栅长度逐渐减小的亚波长光栅波导结构。本实用新型可在较小的多模干涉区的长度下在输出端口实现120度光混频操作。与传统的多模干涉耦合器结构相比，本实用新型采用亚波长光栅波导结构的光混频器可以有效减小器件尺寸、提高集成度，同时可以实现超大带宽、低相位偏差的光混频器。
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公开(公告)号：CN215180992U
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202121158130.X
申请日：2021-05-27
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本申请提供一种光混频器，光混频器包括：基底层；输入波导，其为条状，输入波导的输入端接收输入光；多模干涉波导，其为矩形，多模干涉波导的输入端与输入波导的输出端耦接，接收从输入波导传输的光，多模干涉波导对接收的光进行混频处理；输出波导，其为条状，设置于基底层，输出波导的输入端与多模干涉波导的输出端耦接，接收从多模干涉波导的输出端输出的混频光，输出波导对接收的混频光进行传输，并从输出波导的输出端输出；以及覆盖层，其覆盖输入波导、多模干涉波导以及输出波导各自的上表面和侧面，输入波导、多模干涉波导以及输出波导的材料均为氮化硅，该输入波导的数量为3个，该输出波导的数量为3个。
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公开(公告)号：CN214256319U
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202023114655.1
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: H04B10/548 , G02B6/12
Abstract: 本实用新型提供一种基于硅基氮化硅波导的90度光混频器，包括：衬底；二氧化硅层，位于衬底上；氮化硅波导层，位于二氧化硅层上；二氧化硅包层，包覆于氮化硅波导层上；其中，氮化硅波导层配置为包括信号光输入波导、本振光输入波导、多模干涉区及四个输出波导；信号光输入波导与多模干涉区耦合，用于接收信号光，多模干涉区激励出各阶模式，使信号光和本振光发生混频，形成输入光场的四个复制点，并分别引出至四个输出波导。本实用新型基于硅基氮化硅波导及多模干涉耦合器实现了低损耗、低相位偏差、高光学带宽的2×4型90度光混频器。
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